നിങ്ങളുടെ സബ്-മൈക്രോൺ പരിശോധന പ്രക്രിയയിൽ ഒരു സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് എഡ്ജ് കാണാതായ ലിങ്ക് ആയിരിക്കുമോ?

ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള നിർമ്മാണ ലോകത്ത് - ടോളറൻസുകൾ 5 മൈക്രോണിൽ താഴെ ചുരുങ്ങുകയും ഉപരിതല ഫിനിഷുകൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണനിലവാരത്തിലേക്ക് അടുക്കുകയും ചെയ്യുന്നിടത്ത് - നമ്മൾ ആശ്രയിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങൾ പാരമ്പര്യത്തിനപ്പുറം പരിണമിക്കേണ്ടതുണ്ട്. പതിറ്റാണ്ടുകളായി, സ്റ്റീലും ഗ്രാനൈറ്റും മെട്രോളജി ബെഞ്ചിനെ ഭരിച്ചു. എന്നാൽ സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ, എയ്‌റോസ്‌പേസ് ഒപ്‌റ്റിക്‌സ്, മെഡിക്കൽ മൈക്രോ ഉപകരണങ്ങൾ തുടങ്ങിയ വ്യവസായങ്ങൾ തെർമൽ ഡ്രിഫ്റ്റ് അല്ലെങ്കിൽ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് വെയർ പോലും അസ്വീകാര്യമായ പിശകുകൾ വരുത്തുന്ന മേഖലകളിലേക്ക് കടന്നുവരുമ്പോൾ, ഒരു പുതിയ തരം റഫറൻസ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉയർന്നുവരുന്നു: ലോഹത്തിൽ നിന്നോ കല്ലിൽ നിന്നോ അല്ല, മറിച്ച് നൂതന സാങ്കേതിക സെറാമിക്സിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.

ZHHIMG-ൽ, ഞങ്ങൾ കേവലം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നതിനപ്പുറം മുന്നോട്ട് പോയിസെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് റൂളർഅല്ലെങ്കിൽ സെറാമിക് സ്ക്വയർ റൂളർ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ. ഒരു നേർരേഖ എന്താണെന്ന് ഞങ്ങൾ പുനർനിർവചിക്കുകയാണ് - അൾട്രാ-സ്റ്റേബിൾ സെറാമിക് മെറ്റീരിയലുകൾ കട്ടിംഗ്-എഡ്ജ് ഡിസൈനുമായി സംയോജിപ്പിച്ചുകൊണ്ട്, നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ ആവർത്തനക്ഷമത നൽകുമ്പോൾ തന്നെ മെക്കാനിക്കൽ സമ്പർക്കം പൂർണ്ണമായും ഇല്ലാതാക്കുന്ന ഒരു പരിഹാരമായ ഞങ്ങളുടെ നൂതന കസ്റ്റം സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് റൂളർ ഉൾപ്പെടെ.

സെറാമിക്സ് എന്തിന്? ഉത്തരം തന്മാത്രാ തലത്തിൽ നിന്നാണ് ആരംഭിക്കുന്നത്. താപനിലയോടൊപ്പം ഗണ്യമായി വികസിക്കുന്ന ഉരുക്കിൽ നിന്നോ ഗ്രാനൈറ്റിൽ നിന്നോ വ്യത്യസ്തമായി - സ്ഥിരത ഉണ്ടായിരുന്നിട്ടും സുഷിരങ്ങളും വൈവിധ്യപൂർണ്ണവുമായി തുടരുന്ന ഗ്രാനൈറ്റിൽ നിന്നോ വ്യത്യസ്തമായി - സിർക്കോണിയ-ടഫൻഡ് അലുമിന (ZTA), സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് പോലുള്ള എഞ്ചിനീയറിംഗ് സെറാമിക്സ് പൂജ്യത്തിനടുത്ത് പോറോസിറ്റി, അസാധാരണമായ കാഠിന്യം (1400–1800 HV), 3–4 µm/m·°C വരെ താഴ്ന്ന താപ വികാസ ഗുണകങ്ങൾ എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഇതിനർത്ഥം ZHHIMG-ൽ നിന്നുള്ള ഒരു സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് എഡ്ജ് പരമ്പരാഗത ഉപകരണങ്ങളെ നിരവധി മൈക്രോണുകൾ വളച്ചൊടിക്കുന്ന താപനില വ്യതിയാനങ്ങളിൽ അതിന്റെ ജ്യാമിതി നിലനിർത്തുന്നു എന്നാണ്.

എന്നാൽ മെറ്റീരിയൽ മാത്രം പോരാ. ഞങ്ങളുടെ സെറാമിക് റൂളറുകളെ യഥാർത്ഥത്തിൽ വ്യത്യസ്തമാക്കുന്നത് അവയുടെ നിർമ്മാണത്തിന്റെ കൃത്യതയാണ്. ISO ക്ലാസ് 5 ക്ലീൻറൂമുകളിൽ ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, സബ്-അപ്പർച്ചർ പോളിഷിംഗ്, ലേസർ ഇന്റർഫെറോമെട്രിക് വാലിഡേഷൻ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച്, 500 മില്ലീമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ 0.8 µm നേക്കാൾ മികച്ച നേർരേഖ സഹിഷ്ണുത ഞങ്ങൾ കൈവരിക്കുന്നു - ഡെലിവറി സമയത്ത് മാത്രമല്ല, NIST, PTB മാനദണ്ഡങ്ങൾക്കനുസൃതമായി പൂർണ്ണ കാലിബ്രേഷൻ റിപ്പോർട്ടുകളിൽ ഇത് രേഖപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്. ഓരോന്നുംസെറാമിക് സ്ക്വയർ റൂളർഇലക്ട്രോണിക് ഓട്ടോകോളിമേഷൻ വഴി ലംബ പരിശോധനയ്ക്ക് വിധേയമാകുന്നു, കോണുകൾ 1 ആർക്ക്-സെക്കൻഡിനുള്ളിൽ (100 മില്ലീമീറ്ററിൽ ≈0.5 µm വ്യതിയാനം) നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഇവ സൈദ്ധാന്തിക സ്പെക്കുകളല്ല. ഇനി വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യാൻ കഴിയാത്ത ക്ലയന്റുകൾക്കുള്ള പ്രവർത്തന യാഥാർത്ഥ്യങ്ങളാണ്. ഒരു മുൻനിര EUV ലിത്തോഗ്രാഫി ഘടക വിതരണക്കാരൻ ഇപ്പോൾ മിറർ സപ്പോർട്ട് ഫ്രെയിമുകൾ വിന്യസിക്കുന്നതിന് മാത്രമായി ഞങ്ങളുടെ സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് റൂളർ ഉപയോഗിക്കുന്നു. “ദീർഘമായ എക്സ്പോഷർ സൈക്കിളുകളിൽ സ്റ്റീൽ റൂളറുകൾ വളഞ്ഞുപോയി,” അവരുടെ ലീഡ് മെട്രോളജിസ്റ്റ് ഞങ്ങളോട് പറഞ്ഞു. “ഗ്രാനൈറ്റ് കണികകൾ എടുത്തു. സെറാമിക് പതിപ്പ്? ഇത് 18 മാസമായി സ്ഥിരതയുള്ളതാണ് - റീകാലിബ്രേഷൻ ആവശ്യമില്ല.”

എന്നിരുന്നാലും പൂർണ്ണമായ ജ്യാമിതി പോലും സമ്പർക്കത്തിലൂടെ അപഹരിക്കപ്പെടാം. ഒരു പ്രതലത്തിലൂടെ ഒരു റൂളർ വലിച്ചിടുക, നിങ്ങൾക്ക് സൂക്ഷ്മ പോറലുകൾ, ഓയിൽ ഫിലിം ഇടപെടൽ അല്ലെങ്കിൽ ഇലാസ്റ്റിക് രൂപഭേദം എന്നിവയ്ക്ക് സാധ്യതയുണ്ട് - പ്രത്യേകിച്ച് മൃദുവായ ലോഹങ്ങളിലോ പോളിഷ് ചെയ്ത ഒപ്റ്റിക്സിലോ. കസ്റ്റം സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് റൂളറുമായി ZHHIMG യുടെ നവീകരണം മുന്നോട്ട് കുതിക്കുന്നത് അവിടെയാണ്.

ഇത് വെറുമൊരു സെറാമിക് നേർരേഖയല്ല, അതിൽ ദ്വാരങ്ങൾ തുരന്നിരിക്കുന്നു. റൂളറിന്റെ മുഴുവൻ നീളത്തിലും ഏകീകൃതവും ലാമിനാർ വായുപ്രവാഹവും നൽകുന്നതിന് കമ്പ്യൂട്ടേഷണൽ ഫ്ലൂയിഡ് ഡൈനാമിക്സ് ഉപയോഗിച്ച് രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന പൂർണ്ണമായും എഞ്ചിനീയറിംഗ് ചെയ്ത എയറോസ്റ്റാറ്റിക് സിസ്റ്റമാണിത്. ശുദ്ധവും വരണ്ടതുമായ വായു (അല്ലെങ്കിൽ സെൻസിറ്റീവ് പരിതസ്ഥിതികളിൽ നൈട്രജൻ) ഉപയോഗിച്ച് സമ്മർദ്ദം ചെലുത്തുമ്പോൾ, റൂളർ വർക്ക്പീസിന് മുകളിൽ 5–10 മൈക്രോൺ പൊങ്ങിക്കിടക്കുന്നു - പൂർണ്ണമായ വിന്യാസം നിലനിർത്തിക്കൊണ്ട് ഭൗതിക സമ്പർക്കം ഇല്ലാതാക്കുന്നു. ഫലമോ? ±0.2 µm വരെ ആവർത്തനക്ഷമതയോടെ, പരന്നത, നേരായത അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റെപ്പ് ഉയര പരിശോധനയ്‌ക്കുള്ള യഥാർത്ഥ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് അളവ്.

സ്വിറ്റ്സർലൻഡിലെ ഒരു ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗ് ലാബിൽ ഇപ്പോൾ സൂപ്പർകണ്ടക്റ്റിംഗ് ചിപ്പ് കാരിയറുകൾ പരിശോധിക്കാൻ 600-എംഎം കസ്റ്റം സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് റൂളർ ഉപയോഗിക്കുന്നു. “ഏത് കോൺടാക്റ്റും - ഒരു സോഫ്റ്റ് സ്റ്റൈലസ് ഉപയോഗിച്ചാലും - ക്വിറ്റ് പ്രകടനത്തെ മാറ്റുന്ന സമ്മർദ്ദം അവതരിപ്പിക്കുന്നു,” അവരുടെ പ്രോസസ് എഞ്ചിനീയർ വിശദീകരിച്ചു. “എയർ-ഫ്ലോട്ടിംഗ് സെറാമിക് റൂളർ ഭാഗം തൊടാതെ തന്നെ നമുക്ക് ആവശ്യമായ റഫറൻസ് നൽകുന്നു. ഇത് ദൗത്യത്തിന് നിർണായകമായി മാറിയിരിക്കുന്നു.”

ഇത് സാധ്യമാക്കുന്നത് ZHHIMG-യുടെ മെറ്റീരിയൽ സയൻസ്, പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ്, മെട്രോളജി വൈദഗ്ദ്ധ്യം എന്നിവയുടെ അതുല്യമായ സംയോജനമാണ്. പല വിതരണക്കാരും സെറാമിക്സിനെ ഘടനാപരമായ ഘടകങ്ങളായി കണക്കാക്കുമ്പോൾ, ഞങ്ങൾ അവയെ അളവെടുപ്പ് ആർട്ടിഫാക്റ്റുകളായി ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ സെറാമിക് സ്ക്വയർ റൂളർ ഡിസൈനുകളിൽ ചിപ്പിംഗ് തടയാൻ ചാംഫെർഡ് അരികുകൾ, പരിശോധന ലൈറ്റിംഗിൽ തിളക്കം കുറയ്ക്കുന്നതിന് മാറ്റ്-ഫിനിഷ്ഡ് ബാക്കുകൾ, ഓട്ടോമേറ്റഡ് വിഷൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള ഓപ്ഷണൽ ഫിഡ്യൂഷ്യൽ മാർക്കറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. ക്ലീൻറൂം ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി, കണിക അഡീഷൻ കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഉപരിതലങ്ങൾ Ra < 0.02 µm വരെ പോളിഷ് ചെയ്യുന്നു.

ഓരോ ആപ്ലിക്കേഷനും വ്യത്യസ്തമായതിനാൽ, എല്ലാത്തിനും ഒരുപോലെ അനുയോജ്യം എന്നതിൽ ഞങ്ങൾ വിശ്വസിക്കുന്നില്ല. പരിശോധനയ്ക്കിടെ നേർത്ത വേഫറുകൾ പിടിക്കാൻ എംബഡഡ് വാക്വം ചാനലുകളുള്ള ഒരു സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് എഡ്ജ് ആവശ്യമുണ്ടോ? ഞങ്ങൾ അത് നിർമ്മിച്ചു. ഒരു ആവശ്യമാണ്ചതുരാകൃതിയിലുള്ള റൂളർനിങ്ങളുടെ CMM പ്രോബ് ടിപ്പിലേക്ക് ത്രൂ-ഹോളുകൾ വിന്യസിച്ചിട്ടുണ്ടോ? പൂർത്തിയായി. ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് പ്രഷർ സെൻസറുകളും ഡിജിറ്റൽ ലെവലിംഗ് ഫീഡ്‌ബാക്കും ഉള്ള ഒരു കസ്റ്റം സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് റൂളർ വേണോ? അത് ഇതിനകം തന്നെ ഒരു ടയർ-1 എയ്‌റോസ്‌പേസ് ക്ലയന്റുമായി ബീറ്റാ പരിശോധനയിലാണ്.

വ്യവസായ അംഗീകാരം ലഭിച്ചു. 2025 ലെ ഗ്ലോബൽ അഡ്വാൻസ്ഡ് മെട്രോളജി റിവ്യൂവിൽ, പൂർണ്ണ ജ്യാമിതീയ മൂല്യനിർണ്ണയവും ഡിജിറ്റൽ ട്രെയ്‌സിബിലിറ്റിയും ഉള്ള, ഫ്ലോട്ടിംഗ് വേരിയന്റുകൾ ഉൾപ്പെടെ - സർട്ടിഫൈഡ് സെറാമിക് റഫറൻസ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഒരു സമ്പൂർണ്ണ കുടുംബം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്ന ഒരേയൊരു കമ്പനിയായി ZHHIMG പരാമർശിക്കപ്പെട്ടു. എന്നാൽ അതിലും പ്രധാനമായി, ദത്തെടുക്കൽ ത്വരിതഗതിയിലാകുന്നു: ഞങ്ങളുടെ സെറാമിക് റൂളർ ഓർഡറുകളിൽ 60% ത്തിലധികവും ഇപ്പോൾ വരുന്നത് മുമ്പ് അത്തരം ഉപകരണങ്ങളെ "ഓവർകിൽ" ആയി കണക്കാക്കിയിരുന്ന വ്യവസായങ്ങളിൽ നിന്നാണ് - അവർ വ്യത്യാസം അളക്കുന്നതുവരെ.

ന്യൂറൽ ഇംപ്ലാന്റുകൾ നിർമ്മിക്കുന്ന ഒരു മെഡിക്കൽ ഉപകരണ സ്റ്റാർട്ടപ്പ് സ്റ്റീലിൽ നിന്ന് ഞങ്ങളുടെ സെറാമിക് സ്ക്വയർ റൂളറിലേക്ക് മാറി, അവരുടെ ആദ്യ-പാസ് വിളവ് 22% വർദ്ധിച്ചു. “പഴയ സ്ക്വയർ ടൈറ്റാനിയം ഹൗസിംഗുകളിൽ മൈക്രോ-ഗേജുകൾ അവശേഷിപ്പിച്ചു,” അവരുടെ QA മാനേജർ പറഞ്ഞു. “ഞങ്ങൾ മാറുന്നതുവരെ ഞങ്ങൾക്ക് അത് മനസ്സിലായില്ല. ഇപ്പോൾ, ഓരോ ഭാഗവും ആദ്യ ശ്രമത്തിൽ തന്നെ ദൃശ്യപരവും മാനപരവുമായ പരിശോധനകൾക്ക് വിധേയമാകുന്നു.”

അതുകൊണ്ട് നിങ്ങളുടെ അടുത്ത മെട്രോളജി അപ്‌ഗ്രേഡ് വിലയിരുത്തുമ്പോൾ സ്വയം ചോദിക്കുക: എന്റെ നിലവിലെ നേർരേഖ അനിശ്ചിതത്വം കൂട്ടുകയാണോ—അതോ ഇല്ലാതാക്കുകയാണോ?

നിങ്ങളുടെ പ്രക്രിയ കണ്ടെത്തലിന്റെ വക്കിലാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നതെങ്കിൽ, ഉത്തരം സെറാമിക്സിലായിരിക്കാം - ഒരു പുതുമയായിട്ടല്ല, മറിച്ച് ഒരു ആവശ്യകതയായി. ZHHIMG-ൽ, ഞങ്ങൾ സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് റൂളർ, സെറാമിക് സ്ക്വയർ റൂളർ, അല്ലെങ്കിൽ സെറാമിക് സ്ട്രെയിറ്റ് എഡ്ജ് ഉപകരണങ്ങൾ മാത്രമല്ല നിർമ്മിക്കുന്നത്. ഓരോ മൈക്രോണിലും ഞങ്ങൾ ആത്മവിശ്വാസം സൃഷ്ടിക്കുന്നു.