സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് പിന്നിലെ "റോക്ക് ഫോഴ്‌സ്" ഡീക്രിപ്റ്റ് ചെയ്യുക - ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ ഘടകങ്ങൾക്ക് ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന്റെ കൃത്യതാ അതിർത്തി എങ്ങനെ പുനർനിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ കൃത്യതാ വിപ്ലവം: ഗ്രാനൈറ്റ് മൈക്രോൺ സാങ്കേതികവിദ്യയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുമ്പോൾ
1.1 മെറ്റീരിയൽ സയൻസിലെ അപ്രതീക്ഷിത കണ്ടെത്തലുകൾ
2023 ലെ SEMI ഇന്റർനാഷണൽ സെമികണ്ടക്ടർ അസോസിയേഷൻ റിപ്പോർട്ട് അനുസരിച്ച്, ലോകത്തിലെ 63% നൂതന ഫാബുകളും പരമ്പരാഗത ലോഹ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾക്ക് പകരം ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകൾ ഉപയോഗിക്കാൻ തുടങ്ങിയിരിക്കുന്നു. ഭൂമിയുടെ ആഴത്തിലുള്ള മാഗ്മ ഘനീഭവിക്കലിൽ നിന്ന് ഉത്ഭവിക്കുന്ന ഈ പ്രകൃതിദത്ത കല്ല്, അതിന്റെ അതുല്യമായ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ കാരണം സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ ചരിത്രം തിരുത്തിയെഴുതുകയാണ്:

താപ ജഡത്വ ഗുണം: ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം 4.5×10⁻⁶/℃ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിന്റെ 1/5 ഭാഗം മാത്രമാണ്, കൂടാതെ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനത്തിൽ ±0.001mm എന്ന ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുന്നു.

വൈബ്രേഷൻ ഡാംപിംഗ് സവിശേഷതകൾ: ആന്തരിക ഘർഷണ ഗുണകം കാസ്റ്റ് ഇരുമ്പിനേക്കാൾ 15 മടങ്ങ് കൂടുതലാണ്, ഉപകരണങ്ങളുടെ മൈക്രോ-വൈബ്രേഷനെ ഫലപ്രദമായി ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു.

സീറോ മാഗ്നറ്റൈസേഷൻ സ്വഭാവം: ലേസർ അളക്കലിലെ കാന്തിക പിശക് പൂർണ്ണമായും ഇല്ലാതാക്കുക.

1.2 എന്റേതിൽ നിന്ന് ഫാബിലേക്കുള്ള രൂപാന്തര യാത്ര
ഷാൻഡോങ്ങിലെ ZHHIMG യുടെ ബുദ്ധിപരമായ ഉൽ‌പാദന അടിത്തറ ഒരു ഉദാഹരണമായി എടുക്കുകയാണെങ്കിൽ, ഒരു അസംസ്കൃത ഗ്രാനൈറ്റ് കഷണം ഇനിപ്പറയുന്നവയിലൂടെ കടന്നുപോകേണ്ടതുണ്ട്:

അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ്: 200 മണിക്കൂർ തുടർച്ചയായ മില്ലിംഗിനുള്ള അഞ്ച്-ആക്സിസ് ലിങ്കേജ് മെഷീനിംഗ് സെന്റർ, Ra0.008μm വരെ ഉപരിതല പരുക്കൻത

കൃത്രിമ വാർദ്ധക്യ ചികിത്സ: സ്ഥിരമായ താപനിലയിലും ഈർപ്പത്തിലും വർക്ക്‌ഷോപ്പിൽ 48 മണിക്കൂർ സ്വാഭാവിക സമ്മർദ്ദം ഒഴിവാക്കൽ, ഇത് ഉൽപ്പന്നത്തിന്റെ സ്ഥിരത 40% മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
രണ്ടാമതായി, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ ആറ് കൃത്യതാ പ്രശ്നങ്ങൾ പരിഹരിക്കുക "റോക്ക് സൊല്യൂഷൻ"
2.1 വേഫർ ഫ്രാഗ്മെന്റേഷൻ റേറ്റ് റിഡക്ഷൻ സ്കീം

കേസ് ഡെമോൺസ്ട്രേഷൻ: ജർമ്മനിയിലെ ഒരു ചിപ്പ് ഫൗണ്ടറി ഞങ്ങളുടെ ഗ്യാസ് ഫ്ലോട്ടിംഗ് ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം സ്വീകരിച്ചതിനുശേഷം:

വേഫർ വ്യാസം	ചിപ്പ് നിരക്ക് കുറയ്ക്കൽ	പരന്നത മെച്ചപ്പെടുത്തൽ
12 ഇഞ്ച്	67%	≤0.001 മിമി
18 ഇഞ്ച്	82%	≤0.0005 മിമി

2.2 ലിത്തോഗ്രാഫിക് അലൈൻമെന്റ് കൃത്യത ബ്രേക്ക്‌ത്രൂ സ്കീം

താപനില നഷ്ടപരിഹാര സംവിധാനം: എംബഡഡ് സെറാമിക് സെൻസർ ഷേപ്പ് വേരിയബിളിനെ തത്സമയം നിരീക്ഷിക്കുകയും പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ചെരിവ് യാന്ത്രികമായി ക്രമീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
അളന്ന ഡാറ്റ: 28℃±5℃ എന്ന ഏറ്റക്കുറച്ചിലിൽ, ഉൾച്ചേർക്കൽ കൃത്യത 0.12μm-ൽ താഴെയായി ചാഞ്ചാടുന്നു.