ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ പരന്നത കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള രീതികൾ.

കൃത്യതാ നിർമ്മാണം, ശാസ്ത്രീയ ഗവേഷണം എന്നീ മേഖലകളിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് കൃത്യതാ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ പരന്നത ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യത ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന സൂചകമാണ്. നിരവധി മുഖ്യധാരാ കണ്ടെത്തൽ രീതികളെയും അവയുടെ പ്രവർത്തന നടപടിക്രമങ്ങളെയും കുറിച്ചുള്ള വിശദമായ ആമുഖം താഴെ കൊടുക്കുന്നു.
I. ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ കണ്ടെത്തൽ രീതി
ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് കണ്ടെത്തലിന് ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്ററാണ് ഏറ്റവും ഇഷ്ടപ്പെട്ട ഉപകരണം. ഉദാഹരണത്തിന് ZYGO GPI XP ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്ററിനെ എടുക്കുക, അതിന്റെ റെസല്യൂഷൻ 0.1nm വരെ എത്താം. കണ്ടെത്തൽ നടത്തുമ്പോൾ, ആദ്യം ഇന്റർഫെറോമീറ്ററിന്റെ പ്രകാശ സ്രോതസ്സ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുമായി വിന്യസിക്കുക, പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപരിതലത്തെ 50mm×50mm ഗ്രിഡ് ഏരിയകളായി വിഭജിക്കുക. തുടർന്ന്, ഇന്റർഫെറൻസ് ഫ്രിഞ്ച് ഡാറ്റ പോയിന്റ് ബൈ പോയിന്റ് ആയി ശേഖരിക്കുകയും ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് പിശക് ലഭിക്കുന്നതിന് Zernike പോളിനോമിയൽ ഉപയോഗിച്ച് ഡാറ്റ ഘടിപ്പിക്കുകയും വിശകലനം ചെയ്യുകയും ചെയ്തു. ഈ രീതി ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾക്ക് ബാധകമാണ്, കൂടാതെ ≤0.5μm/m² ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് പിശകുകൾ കണ്ടെത്താനും കഴിയും. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെയും ഹൈ-എൻഡ് ത്രീ-കോർഡിനേറ്റ് അളക്കുന്ന മെഷീൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെയും കണ്ടെത്തലിൽ ഇത് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ​
Ii. ഇലക്ട്രോണിക് ലെവൽ അറേ രീതി
ഇലക്ട്രോണിക് ലെവൽ അറേ ഡിറ്റക്ഷൻ പ്രവർത്തിക്കാൻ ലളിതവും വളരെ കാര്യക്ഷമവുമാണ്. TESA A2 ഇലക്ട്രോണിക് ലെവൽ (0.01μm/m റെസല്യൂഷനോട് കൂടി) തിരഞ്ഞെടുത്ത് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ X/Y അച്ചുതണ്ട് ദിശയിൽ 9×9 അറേയിൽ ക്രമീകരിച്ചു. ഓരോ ലെവലിന്റെയും ഇൻക്ലെയിൻ ഡാറ്റ സിൻക്രണസ് ആയി ശേഖരിച്ച് കണക്കുകൂട്ടലിനായി ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ചതുര രീതി ഉപയോഗിക്കുന്നതിലൂടെ, ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് മൂല്യം കൃത്യമായി ലഭിക്കും. പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ പ്രാദേശിക കോൺകാവിറ്റി, കോൺവെക്സിറ്റി അവസ്ഥകൾ ഫലപ്രദമായി തിരിച്ചറിയാൻ ഈ രീതിക്ക് കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, 50mm പരിധിക്കുള്ളിൽ 0.2μm ന്റെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളും കണ്ടെത്താൻ കഴിയും, ഇത് ബഹുജന ഉൽ‌പാദനത്തിൽ ദ്രുത കണ്ടെത്തലിന് അനുയോജ്യമാണ്. ​
III. ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫ്ലാറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ രീതി
ചെറിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾ കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫ്ലാറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ രീതി അനുയോജ്യമാണ്. പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിൽ പരീക്ഷിക്കുന്നതിനായി ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫ്ലാറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ ഉപരിതലത്തിൽ മുറുകെ ഘടിപ്പിക്കുക, ഒരു മോണോക്രോമാറ്റിക് പ്രകാശ സ്രോതസ്സിന്റെ (സോഡിയം ലാമ്പ് പോലുള്ളവ) പ്രകാശത്തിൽ അവയ്ക്കിടയിൽ രൂപം കൊള്ളുന്ന ഇടപെടൽ അരികുകൾ നിരീക്ഷിക്കുക. വരകൾ സമാന്തരമായ നേരായ വരകളാണെങ്കിൽ, അത് നല്ല പരന്നതയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. വളഞ്ഞ വരകൾ പ്രത്യക്ഷപ്പെടുകയാണെങ്കിൽ, വരയുടെ വക്രതയുടെ അളവിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കി പരന്നത പിശക് കണക്കാക്കുക. ഓരോ വളഞ്ഞ വരയും 0.316μm ഉയര വ്യത്യാസത്തെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ പരന്നത ഡാറ്റ ലളിതമായ പരിവർത്തനത്തിലൂടെ ലഭിക്കും.
നാല്. ത്രീ-കോർഡിനേറ്റ് മെഷറിംഗ് മെഷീൻ പരിശോധന രീതി
ത്രിമാന സ്ഥലത്ത് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള അളവ് നേടാൻ ത്രീ-കോർഡിനേറ്റ് അളക്കൽ യന്ത്രത്തിന് കഴിയും. ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം അളക്കൽ യന്ത്രത്തിന്റെ വർക്ക്‌ടേബിളിൽ സ്ഥാപിക്കുക, പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ ഒന്നിലധികം അളവെടുപ്പ് പോയിന്റുകളിൽ നിന്ന് ഡാറ്റ ഏകതാനമായി ശേഖരിക്കാൻ പ്രോബ് ഉപയോഗിക്കുക. പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ ഒരു പരന്നതാ റിപ്പോർട്ട് സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് അളക്കൽ യന്ത്ര സംവിധാനം ഈ ഡാറ്റ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുകയും വിശകലനം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ രീതി പരന്നതാത്വം കണ്ടെത്തുക മാത്രമല്ല, പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ മറ്റ് ജ്യാമിതീയ പാരാമീറ്ററുകൾ ഒരേസമയം നേടാനും കഴിയും, കൂടാതെ വലിയ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ സമഗ്രമായ കണ്ടെത്തലിന് അനുയോജ്യമാണ്.
ഈ കണ്ടെത്തൽ രീതികളിൽ വൈദഗ്ദ്ധ്യം നേടുന്നത് ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ പരന്നത കൃത്യമായി വിലയിരുത്താനും കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങളുടെ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രവർത്തനത്തിന് വിശ്വസനീയമായ ഒരു ഗ്യാരണ്ടി നൽകാനും നിങ്ങളെ സഹായിക്കും.