ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിർമ്മാണ, അത്യാധുനിക ശാസ്ത്ര ഗവേഷണ മേഖലയിൽ, എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂൾ അതിന്റെ മികച്ച കൃത്യത പ്രകടനത്തോടെ മികച്ച പ്രവർത്തനത്തിനും അളക്കലിനുമുള്ള ഒരു പ്രധാന ഉപകരണമായി മാറിയിരിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ ബേസ്, സപ്പോർട്ട് കോർ എന്ന നിലയിൽ, പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിന് കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ ഉണ്ട്, കൂടാതെ അനുയോജ്യമായ പാരിസ്ഥിതിക സാഹചര്യങ്ങളാണ് അതിന്റെ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനവും മികച്ച ഫലവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള അടിസ്ഥാനം.
ആദ്യം, താപനില നിയന്ത്രണം: കൃത്യതയുള്ള "സ്റ്റെബിലൈസർ"
ഗ്രാനൈറ്റ് അതിന്റെ സ്ഥിരതയ്ക്ക് പേരുകേട്ടതാണെങ്കിലും, താപനില വ്യതിയാനങ്ങളിൽ നിന്ന് പൂർണ്ണമായും പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതല്ല. അതിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം കുറവാണെങ്കിലും, സാധാരണയായി 5-7 ×10⁻⁶/℃, അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ കൺട്രോൾ സാഹചര്യങ്ങളിൽ, സൂക്ഷ്മമായ താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾ ഇപ്പോഴും ഡൈമൻഷണൽ മാറ്റങ്ങൾക്ക് കാരണമായേക്കാം, മൊഡ്യൂൾ കൃത്യതയെ ബാധിച്ചേക്കാം. സെമികണ്ടക്ടർ ചിപ്പ് നിർമ്മാണ വർക്ക്ഷോപ്പിൽ, ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഒരു ഡാൻമി-ലെവൽ പൊസിഷനിംഗ് കൃത്യത ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ ആംബിയന്റ് താപനില 1 ° C വരെ ചാഞ്ചാടുന്നു, കൂടാതെ 1 മീറ്റർ വശ നീളമുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് 5-7 മൈക്രോണുകളുടെ രേഖീയ വികാസമോ സങ്കോചമോ ഉണ്ടാക്കിയേക്കാം. ഈ ചെറിയ മാറ്റം എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂൾ വഴി കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഇത് ചിപ്പ് ലിത്തോഗ്രാഫി പാറ്റേൺ വ്യതിയാനം ഉണ്ടാക്കുന്നതിനും വിളവ് വളരെയധികം കുറയ്ക്കുന്നതിനും പര്യാപ്തമാണ്. അതിനാൽ, എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ ബേസ് കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന അനുയോജ്യമായ പ്രവർത്തന പരിസ്ഥിതി താപനില 20 °C ±1 °C ൽ നിയന്ത്രിക്കണം, സ്ഥിരമായ താപനിലയും ഈർപ്പം എയർ കണ്ടീഷനിംഗ് സിസ്റ്റം, തുടർച്ചയായ നിരീക്ഷണം, ആംബിയന്റ് താപനില ക്രമീകരണം തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്ഥിരമായ താപനില ഉപകരണങ്ങളുടെ സഹായത്തോടെ, വളരെ ചെറിയ പരിധിയിലുള്ള താപനില ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ ഉറപ്പാക്കാൻ, അടിസ്ഥാന വലുപ്പ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ, മൊഡ്യൂൾ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കാൻ.
രണ്ടാമതായി, ഈർപ്പം നിയന്ത്രണം: ഈർപ്പം പ്രതിരോധ സംരക്ഷണ "കല്ല്" ന്റെ താക്കോൽ
പ്രിസിഷൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കുന്ന മറ്റൊരു പ്രധാന ഘടകമാണ് ഈർപ്പം. ഉയർന്ന ഈർപ്പം ഉള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ജലബാഷ്പം ആഗിരണം ചെയ്യാൻ എളുപ്പമാണ്, ഇത് ഉപരിതലത്തിൽ ഘനീഭവിക്കുന്നതിന് കാരണമായേക്കാം, ഇത് ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ കണക്ഷൻ സ്ഥിരതയെയും എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിനെയും ബാധിക്കുക മാത്രമല്ല, ഉപരിതല മണ്ണൊലിപ്പിന് കാരണമാവുകയും ദീർഘകാലാടിസ്ഥാനത്തിൽ ഗ്ലോസും കൃത്യതയും കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്തേക്കാം. ഒപ്റ്റിക്കൽ ലെൻസ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് വർക്ക്ഷോപ്പിൽ, ഈർപ്പം ദീർഘനേരം 60% RH-ൽ കൂടുതലാണെങ്കിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന ജലബാഷ്പം ഗ്യാസ് ഫ്ലോട്ട് സ്ലൈഡറിന്റെ ചലനത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തും, അങ്ങനെ ലെൻസ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് കൃത്യത കുറയുകയും ഉപരിതലം തകരാറിലാവുകയും ചെയ്യും. അതിനാൽ, പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 40%-60% RH-ൽ കർശനമായി നിയന്ത്രിക്കണം, ഉയർന്ന ഈർപ്പം കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാതിരിക്കാൻ ഡീഹ്യൂമിഡിഫയറുകൾ, ഹ്യുമിഡിറ്റി സെൻസറുകൾ, മറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്തുകൊണ്ട് തത്സമയം നിരീക്ഷിക്കാനും ക്രമീകരിക്കാനും കഴിയും, കൂടാതെ എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ സുഗമമായ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യാം.
മൂന്നാമതായി, ശുചിത്വ ഉറപ്പ്: കൃത്യതയുടെ "സംരക്ഷകൻ"
എയർ ഫ്ലോട്ടേഷന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ പ്രിസിഷൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന് പൊടിപടലങ്ങൾ വരുത്തുന്ന ദോഷം കുറച്ചുകാണാൻ കഴിയില്ല. ഗ്യാസ് ഫ്ലോട്ട് സ്ലൈഡറിനും ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിനും ഇടയിലുള്ള ഗ്യാസ് ഫിലിം വിടവിലേക്ക് ചെറിയ കണികകൾ പ്രവേശിച്ചുകഴിഞ്ഞാൽ, അവ ഗ്യാസ് ഫിലിമിന്റെ ഏകീകൃതത നശിപ്പിക്കുകയും, ഘർഷണം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും, അടിത്തറയുടെ ഉപരിതലത്തിൽ മാന്തികുഴിയുണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും, അതിന്റെ ഫലമായി ചലന കൃത്യത കുറയും. എയ്റോസ്പേസ് ഭാഗങ്ങളുടെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ് വർക്ക്ഷോപ്പിൽ, വായുവിലെ പൊടിപടലങ്ങൾ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിൽ പതിച്ചാൽ, മെഷീനിംഗ് ഉപകരണത്തിന്റെ ചലന പാത വ്യതിചലിച്ചേക്കാം, ഇത് ഭാഗങ്ങളുടെ മെഷീനിംഗ് കൃത്യതയെ ബാധിച്ചേക്കാം. അതിനാൽ, ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുള്ള എയർ ഫിൽട്ടറുകൾ (HEPA) പോലുള്ള വായു ശുദ്ധീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ സ്ഥാപിക്കുന്നതിലൂടെ, വായുവിലെ പൊടിപടലങ്ങൾ ഫിൽട്ടർ ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, വർക്ക് ഏരിയ വളരെ വൃത്തിയായി സൂക്ഷിക്കണം, 10,000 അല്ലെങ്കിൽ അതിലും ഉയർന്ന നിലവാരത്തിലുള്ള ശുചിത്വ നിലവാരത്തിൽ എത്തണം, അതേസമയം, മനുഷ്യർ കൊണ്ടുവരുന്ന പൊടി കുറയ്ക്കുന്നതിന് ജീവനക്കാർ പൊടി രഹിത വസ്ത്രങ്ങൾ, ഷൂ കവറുകൾ മുതലായവ ധരിക്കേണ്ടതുണ്ട്. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെയും എയർ ഫ്ലോട്ട് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെയും ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തുക.
നാല്, വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ: "ഷോക്ക് പാഡിന്റെ" സുഗമമായ പ്രവർത്തനം.
എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ കൃത്യതയുടെ ശത്രുവാണ് ബാഹ്യ വൈബ്രേഷൻ. പ്രിസിഷൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന് ഒരു നിശ്ചിത വൈബ്രേഷൻ അറ്റൻയുവേഷൻ കഴിവുണ്ടെങ്കിലും, ഉയർന്ന ശക്തിയുള്ള വൈബ്രേഷൻ ഇപ്പോഴും അതിന്റെ ബഫർ പരിധി ലംഘിച്ചേക്കാം. ഫാക്ടറിക്ക് ചുറ്റുമുള്ള ട്രാഫിക്കും വലിയ മെക്കാനിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനവും സൃഷ്ടിക്കുന്ന വൈബ്രേഷൻ നിലത്തിലൂടെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഇത് എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ചലന കൃത്യതയെ തടസ്സപ്പെടുത്തും. ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള CMM-ൽ, വൈബ്രേഷൻ അളക്കുന്ന പ്രോബും അളക്കേണ്ട വർക്ക്പീസും തമ്മിലുള്ള സമ്പർക്കം അസ്ഥിരമാകാൻ കാരണമായേക്കാം, ഇത് അളക്കൽ ഡാറ്റയുടെ വ്യതിയാനത്തിന് കാരണമാകും. ഈ പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിന്, ഉപകരണ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ ഏരിയയിൽ വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ പാഡുകൾ സ്ഥാപിക്കുക, വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ ഫൗണ്ടേഷൻ നിർമ്മിക്കുക, അല്ലെങ്കിൽ ബാഹ്യ വൈബ്രേഷനെ സജീവമായി ഓഫ്സെറ്റ് ചെയ്യുന്നതിന് സജീവമായ വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ സിസ്റ്റം ഉപയോഗിക്കുക തുടങ്ങിയ ഫലപ്രദമായ വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ നടപടികൾ സ്വീകരിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ ബേസിനും എയർ ഫ്ലോട്ട് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിനും ശാന്തവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കുക.
താപനില, ഈർപ്പം, ശുചിത്വം, വൈബ്രേഷൻ നിയന്ത്രണം എന്നിവയുടെ പാരിസ്ഥിതിക ആവശ്യകതകൾ പൂർണ്ണമായും നിറവേറ്റുന്നതിലൂടെ മാത്രമേ, എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ ബേസിന് അതിന്റെ പ്രകടന ഗുണങ്ങൾക്ക് പൂർണ്ണമായ പിന്തുണ നൽകാനും വിവിധ മേഖലകളിലെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ പ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് വിശ്വസനീയമായ ഗ്യാരണ്ടി നൽകാനും വ്യവസായത്തെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള നിർമ്മാണ, ശാസ്ത്രീയ ഗവേഷണ തലത്തിലേക്ക് നീങ്ങാൻ സഹായിക്കാനും കഴിയൂ.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഏപ്രിൽ-08-2025