ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ്: ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെ "ഗോൾഡൻ പാർട്ണർ" ആയിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ ചിപ്പുകളുടെ കൃത്യത നിർണ്ണയിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന ഉപകരണമാണ്, കൂടാതെ ഒന്നിലധികം സവിശേഷതകളുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഘടകമായി മാറിയിരിക്കുന്നു.

താപ സ്ഥിരത: താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾക്കെതിരായ "കവചം".
ഒരു ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ പ്രവർത്തിക്കുമ്പോൾ, അത് വലിയ അളവിൽ താപം സൃഷ്ടിക്കുന്നു. 0.1 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ പോലും ഉപകരണ ഘടകങ്ങളുടെ രൂപഭേദം വരുത്തുകയും ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി കൃത്യതയെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം വളരെ കുറവാണ്, 4-8 × 10⁻⁶/℃ മാത്രം, ഇത് സ്റ്റീലിന്റെ ഏകദേശം 1/3 ഉം അലുമിനിയം അലോയ്യുടെ 1/5 ഉം ആണ്. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ ദീർഘനേരം പ്രവർത്തിക്കുമ്പോഴോ പരിസ്ഥിതി താപനില മാറുമ്പോഴോ ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയെ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ ഇത് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, ഇത് ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെയും മെക്കാനിക്കൽ ഘടനകളുടെയും കൃത്യമായ സ്ഥാനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

സൂപ്പർ ആന്റി-വൈബ്രേഷൻ പ്രകടനം: വൈബ്രേഷൻ ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന "സ്പോഞ്ച്"
ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ ഫാക്ടറിയിൽ, ചുറ്റുമുള്ള ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനവും ആളുകളുടെ ചലനവും എല്ലാം വൈബ്രേഷനുകൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും. ഗ്രാനൈറ്റിന് ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും കഠിനമായ ഘടനയുമുണ്ട്, കൂടാതെ ലോഹങ്ങളേക്കാൾ 2 മുതൽ 5 മടങ്ങ് വരെ ഡാംപിംഗ് അനുപാതമുള്ള മികച്ച ഡാംപിംഗ് ഗുണങ്ങളുമുണ്ട്. ബാഹ്യ വൈബ്രേഷനുകൾ ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുമ്പോൾ, ആന്തരിക ധാതു പരലുകൾ തമ്മിലുള്ള ഘർഷണം വൈബ്രേഷൻ ഊർജ്ജത്തെ വിസർജ്ജനത്തിനുള്ള താപ ഊർജ്ജമാക്കി മാറ്റുന്നു, ഇത് ചുരുങ്ങിയ സമയത്തിനുള്ളിൽ വൈബ്രേഷൻ ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കും, ഇത് ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന് സ്ഥിരത വേഗത്തിൽ പുനഃസ്ഥാപിക്കാനും വൈബ്രേഷൻ കാരണം ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പാറ്റേണിന്റെ മങ്ങലോ തെറ്റായ ക്രമീകരണമോ ഒഴിവാക്കാനും അനുവദിക്കുന്നു.

രാസ സ്ഥിരത: ശുദ്ധമായ പരിസ്ഥിതിയുടെ "സംരക്ഷകൻ"
ഒരു ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ ഉൾഭാഗം വിവിധ രാസ മാധ്യമങ്ങളുമായി സമ്പർക്കത്തിൽ വരുമ്പോൾ, സാധാരണ ലോഹ വസ്തുക്കൾ നാശത്തിനോ കണികകളുടെ പ്രകാശനത്തിനോ സാധ്യതയുള്ളവയാണ്. ഗ്രാനൈറ്റിൽ ക്വാർട്സ്, ഫെൽഡ്സ്പാർ തുടങ്ങിയ ധാതുക്കൾ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു. ഇതിന് സ്ഥിരതയുള്ള രാസ ഗുണങ്ങളും ശക്തമായ നാശന പ്രതിരോധവുമുണ്ട്. ആസിഡിലും ക്ഷാര ലായനികളിലും മുക്കിയ ശേഷം, ഉപരിതല നാശനഷ്ടം വളരെ ചെറുതാണ്. അതേസമയം, അതിന്റെ സാന്ദ്രമായ ഘടന അവശിഷ്ടങ്ങളോ പൊടിയോ സൃഷ്ടിക്കുന്നില്ല, ഇത് ഏറ്റവും ഉയർന്ന ക്ലീൻറൂം മാനദണ്ഡങ്ങളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുകയും വേഫർ മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

പ്രോസസ്സിംഗ് അഡാപ്റ്റബിലിറ്റി: കൃത്യമായ ബെഞ്ച്മാർക്കുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനുള്ള "അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയൽ".
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ കോർ ഘടകങ്ങൾ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള റഫറൻസ് പ്രതലത്തിൽ സ്ഥാപിക്കേണ്ടതുണ്ട്. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ആന്തരിക ഘടന ഏകതാനമാണ്, പൊടിക്കൽ, മിനുക്കൽ, മറ്റ് സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ എന്നിവയിലൂടെ വളരെ ഉയർന്ന കൃത്യതയിലേക്ക് ഇത് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ എളുപ്പമാണ്. ഇതിന്റെ പരന്നത ≤0.5μm/m വരെ എത്താം, കൂടാതെ ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra ≤0.05μm ആണ്, ഇത് ഒപ്റ്റിക്കൽ ലെൻസുകൾ പോലുള്ള ഘടകങ്ങൾക്ക് കൃത്യമായ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ അടിസ്ഥാനം നൽകുന്നു.

ദീർഘായുസ്സും അറ്റകുറ്റപ്പണി രഹിതവും: ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നതിനുള്ള "മൂർച്ചയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ"
ദീർഘകാല ഉപയോഗത്തിൽ തളർച്ചയ്ക്കും വിള്ളലിനും സാധ്യതയുള്ള ലോഹ വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സാധാരണ ലോഡുകളിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാസ്റ്റിക് രൂപഭേദം അല്ലെങ്കിൽ ഒടിവ് സംഭവിക്കുന്നില്ല, കൂടാതെ ഇതിന് ഉപരിതല ചികിത്സ ആവശ്യമില്ല, അതുവഴി കോട്ടിംഗ് അടർന്നുപോകുന്നതിനും മലിനീകരണത്തിനും സാധ്യത ഒഴിവാക്കുന്നു. പ്രായോഗിക പ്രയോഗങ്ങളിൽ, വർഷങ്ങളോളം ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷവും, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ പ്രധാന പ്രകടന സൂചകങ്ങൾ ഇപ്പോഴും സ്ഥിരത പുലർത്താൻ കഴിയും, ഇത് ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന, പരിപാലന ചെലവുകൾ കുറയ്ക്കുന്നു.

താപ സ്ഥിരത, വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധം മുതൽ രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം വരെ, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ ഒന്നിലധികം സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ ആവശ്യകതകൾ തികച്ചും നിറവേറ്റുന്നു. ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉയർന്ന കൃത്യതയിലേക്ക് വികസിക്കുന്നത് തുടരുമ്പോൾ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ മേഖലയിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറകൾ മാറ്റാനാകാത്ത പങ്ക് വഹിക്കും.