സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വർക്ക്‌ഷോപ്പിൽ, പാരിസ്ഥിതിക സാഹചര്യങ്ങൾക്കും ഉപകരണ കൃത്യതയ്ക്കും വേണ്ടിയുള്ള ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ ആവശ്യകതകൾ അതിരുകടന്നതാണ്, കൂടാതെ ഏതെങ്കിലും ചെറിയ വ്യതിയാനം ചിപ്പ് വിളവിൽ ഗണ്യമായ കുറവിന് കാരണമായേക്കാം. XYZT പ്രിസിഷൻ ഗാൻട്രി മൂവ്മെന്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം, നാനോസ്‌കെയിൽ കൃത്യത കൈവരിക്കുന്നതിനുള്ള ശക്തമായ അടിത്തറ കെട്ടിപ്പടുക്കുന്നതിന് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ മറ്റ് ഭാഗങ്ങളുമായി സഹകരിക്കുന്നതിന് ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളെ ആശ്രയിക്കുന്നു.
മികച്ച വൈബ്രേഷൻ തടയൽ ഗുണങ്ങൾ
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വർക്ക്‌ഷോപ്പിൽ, പെരിഫറൽ ഉപകരണങ്ങളുടെയും ജീവനക്കാരുടെയും പ്രവർത്തനം വൈബ്രേഷന് കാരണമായേക്കാം. ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ആന്തരിക ഘടന സാന്ദ്രവും ഏകീകൃതവുമാണ്, കാര്യക്ഷമമായ വൈബ്രേഷൻ "തടസ്സം" പോലെ സ്വാഭാവിക ഉയർന്ന ഡാംപിംഗ് സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്. ബാഹ്യ വൈബ്രേഷൻ XYZT പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുമ്പോൾ, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകത്തിന് വൈബ്രേഷൻ ഊർജ്ജത്തിന്റെ 80%-ത്തിലധികം ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കാനും പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ചലന കൃത്യതയിലെ വൈബ്രേഷന്റെ ഇടപെടൽ കുറയ്ക്കാനും കഴിയും. അതേസമയം, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുമായി സംയോജിച്ച് പ്രവർത്തിക്കുന്ന ഒരു ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള എയർ ഫ്ലോട്ട് ഗൈഡ് സിസ്റ്റം പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിൽ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിലെ ചലിക്കുന്ന ഭാഗങ്ങളുടെ കോൺടാക്റ്റ്‌ലെസ് സസ്പെൻഷൻ ചലനം തിരിച്ചറിയുന്നതിനും മെക്കാനിക്കൽ ഘർഷണം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ചെറിയ വൈബ്രേഷൻ കുറയ്ക്കുന്നതിനും എയർ ഫ്ലോട്ട് ഗൈഡ് ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള വാതകത്താൽ രൂപം കൊള്ളുന്ന സ്ഥിരതയുള്ള ഗ്യാസ് ഫിലിം ഉപയോഗിക്കുന്നു. ചിപ്പ് ലിത്തോഗ്രാഫി, എച്ചിംഗ് തുടങ്ങിയ പ്രധാന പ്രക്രിയകളിൽ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം പൊസിഷനിംഗ് കൃത്യത എല്ലായ്പ്പോഴും നാനോമീറ്റർ തലത്തിൽ നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് രണ്ടും ഒരുമിച്ച് ഉറപ്പാക്കുന്നു, കൂടാതെ വൈബ്രേഷൻ മൂലമുണ്ടാകുന്ന ചിപ്പ് സർക്യൂട്ട് പാറ്റേണുകളുടെ വ്യതിയാനം ഒഴിവാക്കുന്നു.
മികച്ച താപ സ്ഥിരത
വർക്ക്ഷോപ്പിലെ താപനിലയിലും ഈർപ്പത്തിലും ഉണ്ടാകുന്ന ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ ചിപ്പ് നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യതയെ വളരെയധികം സ്വാധീനിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം വളരെ കുറവാണ്, സാധാരണയായി 5-7 ×10⁻⁶/℃ ആണ്, താപനില മാറുമ്പോൾ വലിപ്പം ഏതാണ്ട് മാറ്റമില്ല. വർക്ക്ഷോപ്പിലെ പകലും രാത്രിയും തമ്മിലുള്ള താപനില വ്യത്യാസമോ ഉപകരണങ്ങളുടെ താപ ഉൽപാദനമോ ആംബിയന്റ് താപനിലയിൽ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾക്ക് കാരണമായാലും, താപ വികാസവും സങ്കോചവും മൂലം പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ രൂപഭേദം തടയാൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ കഴിയും. അതേ സമയം, പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിൽ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന ഇന്റലിജന്റ് ടെമ്പറേച്ചർ കൺട്രോൾ സിസ്റ്റം ആംബിയന്റ് താപനില തത്സമയം നിരീക്ഷിക്കുകയും എയർ കണ്ടീഷനിംഗും താപ വിസർജ്ജന ഉപകരണങ്ങളും യാന്ത്രികമായി ക്രമീകരിക്കുകയും വർക്ക്ഷോപ്പ് താപനില 20 ° C ± 1 ° C ൽ നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് താപ സ്ഥിരതയുടെ ഗുണങ്ങളുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിലെ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം, ഓരോ അച്ചുതണ്ടിന്റെയും ചലന കൃത്യത എല്ലായ്പ്പോഴും ചിപ്പ് നിർമ്മാണ നാനോമീറ്റർ കൃത്യത മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക, ചിപ്പ് ലിത്തോഗ്രാഫി പാറ്റേൺ വലുപ്പം കൃത്യമാണെന്നും എച്ചിംഗ് ഡെപ്ത് ഏകതാനമാണെന്നും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ശുദ്ധമായ പരിസ്ഥിതിയുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുക
പൊടിപടലങ്ങൾ ചിപ്പിനെ മലിനമാക്കുന്നത് തടയാൻ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ കട ഉയർന്ന അളവിലുള്ള ശുചിത്വം പാലിക്കേണ്ടതുണ്ട്. ഗ്രാനൈറ്റ് മെറ്റീരിയൽ തന്നെ പൊടി ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നില്ല, ഉപരിതലം മിനുസമാർന്നതാണ്, പൊടി ആഗിരണം ചെയ്യാൻ എളുപ്പമല്ല. ബാഹ്യ പൊടിയുടെ പ്രവേശനം കുറയ്ക്കുന്നതിന് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം മൊത്തത്തിൽ പൂർണ്ണമായും അടച്ചതോ പകുതി അടച്ചതോ ആയ ഘടനാ രൂപകൽപ്പന സ്വീകരിക്കുന്നു. ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന് ആവശ്യമായ അളവിൽ ആന്തരിക വായു ശുചിത്വം എത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ആന്തരിക വായു സഞ്ചാര സംവിധാനം വർക്ക്‌ഷോപ്പിന്റെ ശുദ്ധമായ എയർ കണ്ടീഷനിംഗ് സംവിധാനവുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു. ഈ വൃത്തിയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, പൊടി ശോഷണം മൂലം ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കില്ല, കൂടാതെ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിലെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സെൻസറുകളും മോട്ടോറുകളും പോലുള്ള പ്രധാന ഘടകങ്ങൾക്ക് സ്ഥിരമായി പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന് തുടർച്ചയായതും വിശ്വസനീയവുമായ നാനോസ്‌കെയിൽ കൃത്യത ഉറപ്പ് നൽകുന്നു, കൂടാതെ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തെ ഉയർന്ന പ്രക്രിയാ തലത്തിലേക്ക് നീങ്ങാൻ സഹായിക്കുന്നു.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഏപ്രിൽ-14-2025