വേഫറുകളുടെ നശീകരണരഹിതമായ പരിശോധനയുടെ കൃത്യതയെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് എങ്ങനെ ബാധിക്കുന്നു?

​
​
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ കൃത്യമായ ലോകത്ത്, ചിപ്പുകളുടെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന കണ്ണിയാണ് വേഫറുകളുടെ നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് ടെസ്റ്റിംഗ്. നിസ്സാരമെന്ന് തോന്നുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് യഥാർത്ഥത്തിൽ കണ്ടെത്തൽ കൃത്യത നിർണ്ണയിക്കുന്ന "പാടാത്ത നായകൻ" ആണ്. ഭൂമിയിൽ ഇത് പരിശോധനാ ഫലങ്ങളെ എങ്ങനെ ബാധിക്കുന്നു? മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ, ഘടനാപരമായ രൂപകൽപ്പന തുടങ്ങിയ അളവുകളിൽ നിന്ന് ഈ ലേഖനം ആഴത്തിലുള്ള വിശകലനം നടത്തും.
1. സ്ഥിരതയുള്ള അടിത്തറ: ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ സ്വാഭാവിക ഗുണങ്ങൾ കൃത്യതയ്ക്ക് ശക്തമായ അടിത്തറയിടുന്നു.
1. മികച്ച ഭൂകമ്പ പ്രകടനം
വേഫർ നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് ടെസ്റ്റിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന സമയത്ത്, മോട്ടോറിന്റെ ഭ്രമണവും മെക്കാനിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ ചലനവും എല്ലാം വൈബ്രേഷനുകൾ സൃഷ്ടിക്കും. ഈ വൈബ്രേഷനുകൾ ഫലപ്രദമായി അടിച്ചമർത്തപ്പെട്ടില്ലെങ്കിൽ, അവ പരിശോധന കൃത്യതയെ ഗുരുതരമായി തടസ്സപ്പെടുത്തും. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ഉൾഭാഗം ക്വാർട്സ്, ഫെൽഡ്സ്പാർ തുടങ്ങിയ ധാതു പരലുകളുമായി അടുത്ത് ഇഴചേർന്നിരിക്കുന്നു. അതിന്റെ അതുല്യമായ ഘടന ഉപകരണങ്ങളുടെ വൈബ്രേഷൻ ഊർജ്ജത്തിന്റെ 90% ത്തിലധികം ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിവുള്ള ഒരു സ്വാഭാവിക വൈബ്രേഷൻ ആഗിരണം ചെയ്യാനുള്ള ശേഷി നൽകുന്നു. ഒരു പ്രത്യേക അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാവിന്റെ യഥാർത്ഥ അളവെടുപ്പ് ഡാറ്റ കാണിക്കുന്നത് ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഉപയോഗിച്ചതിന് ശേഷം, ഡിറ്റക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെ വൈബ്രേഷൻ ആംപ്ലിറ്റ്യൂഡ് 12μm ൽ നിന്ന് 2μm ആയി കുറച്ചിട്ടുണ്ട്, ഇത് വൈബ്രേഷൻ മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഡിറ്റക്ഷൻ സിഗ്നലിന്റെ വ്യതിയാനം ഫലപ്രദമായി ഒഴിവാക്കുന്നു. ​
2. വളരെ കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം
കണ്ടെത്തൽ പ്രക്രിയയിൽ, ഉപകരണങ്ങൾ ചൂടാക്കൽ, പരിസ്ഥിതി താപനിലയിലെ മാറ്റങ്ങൾ തുടങ്ങിയ ഘടകങ്ങളെല്ലാം മെഷീൻ ബേസിന്റെ സ്ഥിരതയെ ബാധിക്കും. സാധാരണ വസ്തുക്കൾ ചൂടാക്കുമ്പോൾ ഗണ്യമായി വികസിക്കുന്നു, എന്നാൽ ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം സ്റ്റീലിന്റെ 1/5 മാത്രമാണ്. ആംബിയന്റ് താപനില 10 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് ചാഞ്ചാട്ടം വരുത്തിയാലും, അതിന്റെ രൂപഭേദം അവഗണിക്കാൻ കഴിയും. ഇത് ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിനെ പരിശോധനാ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള റഫറൻസ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം നൽകാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, പരിശോധനാ പ്രോബിനും വേഫറിനും ഇടയിലുള്ള ആപേക്ഷിക സ്ഥാനം എല്ലായ്‌പ്പോഴും കൃത്യമായി തുടരുന്നുവെന്നും താപ രൂപഭേദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന പരിശോധന പിശകുകൾ ഒഴിവാക്കുന്നുവെന്നും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
രണ്ടാമതായി, കൃത്യമായ രൂപകൽപ്പന: ഘടനാപരമായ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ കണ്ടെത്തലിന്റെ വിശ്വാസ്യത കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രോസസ്സിംഗും പരന്നത ഉറപ്പും
ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ്, നൂതനമായ അഞ്ച്-ആക്സിസ് ലിങ്കേജ് CNC സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ചാണ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നത്, ±0.5μm/m ഫ്ലാറ്റ്നെസ്, ഇത് പരിശോധന ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അൾട്രാ-ഫ്ലാറ്റ് ഇൻസ്റ്റലേഷൻ റഫറൻസ് നൽകുന്നു. വേഫർ പരിശോധനയിൽ, പരിശോധനാ പ്രോബിന്റെ ലംബതയും ലെവലും പരിശോധനാ ഫലങ്ങൾക്ക് നിർണായകമാണ്. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന് പ്രോബിന്റെ കൃത്യമായ സ്ഥാനം ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയും, ഇത് പരിശോധനാ ഡാറ്റ കൂടുതൽ കൃത്യവും വിശ്വസനീയവുമാക്കുന്നു.
2. ഇഷ്ടാനുസൃത ഘടനാപരമായ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ
വ്യത്യസ്ത വേഫർ നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് ടെസ്റ്റിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്കും പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾക്കും ഗ്രാനൈറ്റ് മെഷീൻ ബേസുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാൻ കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, പ്രകാശ പ്രതിഫലനത്തിനായുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ പരിശോധന ഉപകരണങ്ങളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിന്, മെഷീൻ ബേസിന്റെ ഉപരിതലം പ്രത്യേകം കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ കഴിയും; അൾട്രാസോണിക് ടെസ്റ്റിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിന്, കൃത്യമായ ഇൻസ്റ്റലേഷൻ ദ്വാരങ്ങളും കേബിൾ ട്രേകളും ഉപയോഗിച്ച് ബേസ് മുൻകൂട്ടി നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഉപകരണങ്ങളുടെ വേഗത്തിലുള്ളതും കൃത്യവുമായ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രാപ്തമാക്കുകയും ഇൻസ്റ്റലേഷൻ പിശകുകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന കണ്ടെത്തൽ വ്യതിയാനങ്ങൾ കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
Iii. ദീർഘകാല സ്ഥിരത: ഉപകരണ അറ്റകുറ്റപ്പണികൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന കൃത്യതാ നഷ്ടം കുറയ്ക്കുക.
ഗ്രാനൈറ്റിന് ഉയർന്ന കാഠിന്യവും ശക്തമായ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവുമുണ്ട്, 6 മുതൽ 7 വരെ മോസ് കാഠിന്യം ഉണ്ട്, ഇത് സാധാരണ സ്റ്റീലിന്റെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധത്തിന്റെ മൂന്നിരട്ടിയാണ്. ദീർഘകാല പരിശോധനാ പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ, മെഷീൻ ബേസിന്റെ ഉപരിതലം തേയ്മാനത്തിന് സാധ്യതയില്ല, മാത്രമല്ല എല്ലായ്പ്പോഴും നല്ല കൃത്യത നിലനിർത്താനും കഴിയും. ഇതിനു വിപരീതമായി, മറ്റ് വസ്തുക്കൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ബേസുകൾ തേയ്മാനം കാരണം ഉപകരണങ്ങളുടെ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ റഫറൻസിൽ മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തിയേക്കാം, അതുവഴി കണ്ടെത്തൽ കൃത്യതയെ ബാധിക്കുകയും ഇടയ്ക്കിടെ കാലിബ്രേഷനും അറ്റകുറ്റപ്പണിയും ആവശ്യമായി വരികയും ചെയ്യും. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ നീണ്ട സേവന ജീവിതവും ഉയർന്ന സ്ഥിരതയും ഉപകരണ അറ്റകുറ്റപ്പണികളുടെ ആവൃത്തി ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുകയും അറ്റകുറ്റപ്പണി പ്രക്രിയയിൽ സംഭവിക്കാവുന്ന കൃത്യത നഷ്ടപ്പെടാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഷോക്ക് റെസിസ്റ്റൻസ്, താപ പ്രതിരോധം മുതൽ കൃത്യമായ രൂപകൽപ്പന വരെ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ ഓരോ സവിശേഷതയും വേഫറുകളുടെ നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് ടെസ്റ്റിംഗിന്റെ കൃത്യത സംരക്ഷിക്കുന്നു. ആത്യന്തിക കൃത്യത പിന്തുടരുന്ന ഇന്നത്തെ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ യുഗത്തിൽ, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് പരിശോധനാ ഫലങ്ങളുടെ കൃത്യതയ്ക്കും വിശ്വാസ്യതയ്ക്കും ഒരു സോളിഡ് ഇൻഷുറൻസ് പാളി ചേർക്കുന്നത് പോലെയാണ്.