ഒരു ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ കൃത്യത എങ്ങനെ പരിശോധിക്കാം? കൃത്യത സ്റ്റാൻഡേർഡ് ആണോ എന്ന് ഉറപ്പാക്കുക?

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം, കൃത്യത അളക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ തുടങ്ങിയ മേഖലകളിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് കൃത്യത പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ കൃത്യത ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന നിലവാരത്തെ നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു. പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ കൃത്യത മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ, രണ്ട് വശങ്ങളിൽ നിന്ന് ശ്രമങ്ങൾ നടത്തണം: പ്രധാന സൂചകങ്ങൾ കണ്ടെത്തലും സ്റ്റാൻഡേർഡ് മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കലും.

കോർ ഇൻഡിക്കേറ്റർ കണ്ടെത്തൽ: കൃത്യതയുടെ മൾട്ടി-ഡൈമൻഷണൽ നിയന്ത്രണം
പരന്നതാ കണ്ടെത്തൽ: റഫറൻസ് തലത്തിന്റെ "പരന്നതാ" നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ പ്രധാന സൂചകമാണ് ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ്, ഇത് സാധാരണയായി ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്ററുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഇലക്ട്രോണിക് ലെവലുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് അളക്കുന്നത്. ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്ററിന് ഒരു ലേസർ ബീം പുറപ്പെടുവിച്ചും പ്രകാശ ഇടപെടൽ തത്വം ഉപയോഗിച്ച് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപരിതലത്തിലെ ഏറ്റവും ചെറിയ തരംഗദൈർഘ്യങ്ങൾ കൃത്യമായി അളക്കാൻ കഴിയും, കൃത്യത സബ്-മൈക്രോൺ ലെവലിൽ എത്തുന്നു. ഇലക്ട്രോണിക് ലെവൽ ഒന്നിലധികം തവണ ചലിപ്പിച്ച് അളക്കുകയും പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപരിതലത്തിന്റെ ത്രിമാന കോണ്ടൂർ മാപ്പ് വരയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ഏതെങ്കിലും പ്രാദേശിക പ്രോട്രഷനുകളോ ഡിപ്രഷനുകളോ ഉണ്ടോ എന്ന് കണ്ടെത്തുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, സെമികണ്ടക്ടർ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾക്ക് ±0.5μm/m എന്ന ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് ആവശ്യമാണ്, അതായത് 1 മീറ്റർ നീളത്തിനുള്ളിലെ ഉയര വ്യത്യാസം അര മൈക്രോമീറ്ററിൽ കൂടരുത്. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കണ്ടെത്തൽ ഉപകരണങ്ങൾ വഴി മാത്രമേ ഈ കർശനമായ മാനദണ്ഡം ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയൂ.
2. നേർരേഖ കണ്ടെത്തൽ: രേഖീയ ചലനത്തിന്റെ "നേർരേഖ" ഉറപ്പാക്കുക.
കൃത്യതയുള്ള ചലിക്കുന്ന ഭാഗങ്ങൾ വഹിക്കുന്ന പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾക്ക്, നേർരേഖ വളരെ പ്രധാനമാണ്. വയർ രീതി അല്ലെങ്കിൽ ലേസർ കോളിമേറ്റർ ആണ് കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള സാധാരണ രീതികൾ. വയർ രീതിയിൽ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്റ്റീൽ വയറുകൾ സസ്പെൻഡ് ചെയ്യുകയും പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപരിതലത്തിനും സ്റ്റീൽ വയറുകൾക്കും ഇടയിലുള്ള വിടവ് താരതമ്യം ചെയ്ത് നേർരേഖ നിർണ്ണയിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഗൈഡ് റെയിലിന്റെ ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ ഉപരിതലത്തിന്റെ രേഖീയ പിശക് കണ്ടെത്തുന്നതിന് ലേസർ കോളിമേറ്റർ ലേസറിന്റെ രേഖീയ പ്രചാരണ സവിശേഷതകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. നേർരേഖ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നില്ലെങ്കിൽ, ചലന സമയത്ത് ഉപകരണങ്ങൾ മാറാൻ ഇത് കാരണമാകും, ഇത് പ്രോസസ്സിംഗിനെയോ അളക്കൽ കൃത്യതയെയോ ബാധിക്കും.
3. ഉപരിതല പരുക്കൻത കണ്ടെത്തൽ: സമ്പർക്കത്തിന്റെ "സൂക്ഷ്മത" ഉറപ്പാക്കുക.
പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ ഉപരിതല പരുക്കൻത, ഘടക ഇൻസ്റ്റാളേഷന്റെ ഫിറ്റിനെ ബാധിക്കുന്നു. സാധാരണയായി, ഒരു സ്റ്റൈലസ് റഫ്‌നെസ് മീറ്ററോ ഒപ്റ്റിക്കൽ മൈക്രോസ്കോപ്പോ ആണ് കണ്ടെത്തലിനായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്. സ്റ്റൈലസ് തരത്തിലുള്ള ഉപകരണം, പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപരിതലവുമായി ഒരു സൂക്ഷ്മ പ്രോബ് ഉപയോഗിച്ച് സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നതിലൂടെ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് പ്രൊഫൈലിന്റെ ഉയരത്തിലെ മാറ്റങ്ങൾ രേഖപ്പെടുത്തുന്നു. ഒപ്റ്റിക്കൽ മൈക്രോസ്കോപ്പുകൾക്ക് ഉപരിതല ഘടന നേരിട്ട് നിരീക്ഷിക്കാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra≤0.05μm ൽ നിയന്ത്രിക്കേണ്ടതുണ്ട്, ഇത് ഒരു കണ്ണാടി പോലുള്ള പ്രഭാവത്തിന് തുല്യമാണ്, ഇത് ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ സമയത്ത് കൃത്യതയുള്ള ഘടകങ്ങൾ ദൃഢമായി യോജിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുകയും വിടവുകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വൈബ്രേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ സ്ഥാനചലനം ഒഴിവാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
കൃത്യതാ മാനദണ്ഡങ്ങൾ ഇപ്രകാരമാണ്: അന്താരാഷ്ട്ര മാനദണ്ഡങ്ങളും എന്റർപ്രൈസസിന്റെ ആന്തരിക നിയന്ത്രണവും.
നിലവിൽ, അന്താരാഷ്ട്രതലത്തിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ കൃത്യത നിർണ്ണയിക്കുന്നതിനുള്ള അടിസ്ഥാനമായി ISO 25178, GB/T 24632 മാനദണ്ഡങ്ങൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ പരന്നതും നേരായതും പോലുള്ള സൂചകങ്ങൾക്ക് വ്യക്തമായ വർഗ്ഗീകരണങ്ങളുണ്ട്. കൂടാതെ, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിർമ്മാണ സംരംഭങ്ങൾ പലപ്പോഴും കൂടുതൽ കർശനമായ ആന്തരിക നിയന്ത്രണ മാനദണ്ഡങ്ങൾ നിശ്ചയിക്കുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിനുള്ള പരന്ന ആവശ്യകത അന്താരാഷ്ട്ര നിലവാരത്തേക്കാൾ 30% കൂടുതലാണ്. പരിശോധനകൾ നടത്തുമ്പോൾ, അളന്ന ഡാറ്റ അനുബന്ധ മാനദണ്ഡങ്ങളുമായി താരതമ്യം ചെയ്യണം. മാനദണ്ഡങ്ങൾ പൂർണ്ണമായും പാലിക്കുന്ന പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾക്ക് മാത്രമേ കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങളിൽ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയൂ.
ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രിസിഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളുടെ കൃത്യത പരിശോധിക്കുന്നത് ഒരു വ്യവസ്ഥാപിത പദ്ധതിയാണ്. പരന്നത, നേരായത, ഉപരിതല പരുക്കൻത തുടങ്ങിയ പ്രധാന സൂചകങ്ങൾ കർശനമായി പരിശോധിച്ചുകൊണ്ട്, അന്താരാഷ്ട്ര, എന്റർപ്രൈസ് മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിച്ചുകൊണ്ട് മാത്രമേ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ ഉയർന്ന കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയൂ, ഇത് അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിർമ്മാണ മേഖലകൾക്ക് ശക്തമായ അടിത്തറയിടുന്നു.