വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ ഏത് ഭാഗത്താണ് ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത്?

ഉയർന്ന സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, നാശത്തിനെതിരായ ഉയർന്ന പ്രതിരോധം തുടങ്ങിയ മികച്ച സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് സാമഗ്രികൾ അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.ഈ ഗുണങ്ങൾ ഗ്രാനൈറ്റിനെ ഒരു വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിൽ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഘടകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ വേഫറുകൾ കൊണ്ടുപോകുന്നതിൽ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റം നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.ചെറിയ വ്യതിയാനങ്ങൾ പോലും മുഴുവൻ പ്രക്രിയയെയും അപകടത്തിലാക്കിയേക്കാവുന്നതിനാൽ കൃത്യതയും കൃത്യതയുമാണ് ഈ സിസ്റ്റങ്ങളുടെ അനിവാര്യമായ ആവശ്യകതകൾ.അതിനാൽ, വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിലെ ഘടകങ്ങൾ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിക്കണം, ഗ്രാനൈറ്റ് ആ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു.

ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ ചില ഭാഗങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു:

1. വാക്വം ചക്ക് ടേബിൾ

പ്രക്രിയയ്ക്കിടെ വേഫർ പിടിക്കാൻ വാക്വം ചക്ക് ടേബിൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ വേഫറിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിച്ചിട്ടില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ഇതിന് സ്ഥിരതയുള്ള ഉപരിതലം ഉണ്ടായിരിക്കണം.ഉയർന്ന സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും നൽകുന്ന പരന്നതും സുഷിരങ്ങളില്ലാത്തതുമായ ഉപരിതലമുള്ളതിനാൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ ടേബിൾ നിർമ്മിക്കാൻ അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാണ്.കൂടാതെ, ഗ്രാനൈറ്റിന് താപ വികാസത്തിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകമുണ്ട്, ഇത് വേഫറിൽ ഡൈമൻഷണൽ മാറ്റങ്ങൾക്ക് കാരണമാകുന്ന താപനില മാറ്റങ്ങളെ പ്രതിരോധിക്കും.

2. എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ്

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിലൂടെ വേഫർ കൊണ്ടുപോകാൻ എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.ഘർഷണരഹിതമായ ചലനം പ്രദാനം ചെയ്യുന്നതിനാണ് സ്റ്റേജ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, അതിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും ആവശ്യമാണ്.ഈ ആപ്ലിക്കേഷനിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, കാരണം ഇത് കടുപ്പമുള്ളതും കടുപ്പമുള്ളതുമായ കല്ലാണ്, മാത്രമല്ല ഇത് കാലക്രമേണ രൂപഭേദം വരുത്തുകയും ധരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

3. ലീനിയർ മോഷൻ ഗൈഡുകൾ

എയർ-ബെയറിംഗ് ഘട്ടത്തെ നയിക്കാൻ ലീനിയർ മോഷൻ ഗൈഡുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, പിശകുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് അവ കൃത്യമായി സ്ഥാപിക്കണം.മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരതയും ശക്തിയും ഉള്ളതിനാൽ ഈ ഗൈഡ് നിർമ്മിക്കാൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.മെറ്റീരിയൽ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും, ഇത് ഗൈഡ് സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ ദീർഘവീക്ഷണം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

4. മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറിൻ്റെ അളവുകളും ഗുണങ്ങളും അളക്കാൻ മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ ഉപകരണം നിർമ്മിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാണ്, കാരണം ഇതിന് ഉയർന്ന കാഠിന്യം, കുറഞ്ഞ വികാസം, ലോഡിന് കീഴിൽ കുറഞ്ഞ രൂപഭേദം എന്നിവയുണ്ട്.കൂടാതെ, ഗ്രാനൈറ്റിൻ്റെ താപ സ്ഥിരത, മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ കാലക്രമേണ സ്ഥിരവും കൃത്യവുമായി തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഉപസംഹാരമായി, അർദ്ധചാലക വ്യവസായം കൃത്യതയിലും കൃത്യതയിലും ആശ്രയിക്കുന്നു, ഗ്രാനൈറ്റ് സാമഗ്രികൾ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വളരെ വിശ്വസനീയവും സുസ്ഥിരവുമാണെന്ന് തെളിയിക്കപ്പെട്ടിട്ടുണ്ട്.ഉയർന്ന സ്ഥിരത, കൃത്യത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം എന്നിവ ആവശ്യമുള്ള വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിലെ നിരവധി നിർണായക ഘടകങ്ങൾ ഉള്ളതിനാൽ, ഈ നിർണായക ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി എഞ്ചിനീയർമാർ ഗ്രാനൈറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളിലേക്ക് തിരിയുന്നു.