വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിന്റെ ഏതെല്ലാം ഭാഗങ്ങളിലാണ് ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത്?

ഉയർന്ന സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, നാശത്തിനെതിരായ ഉയർന്ന പ്രതിരോധം തുടങ്ങിയ മികച്ച സവിശേഷതകൾ കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. ഈ ഗുണങ്ങൾ ഗ്രാനൈറ്റിനെ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിൽ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഘടകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിലൂടെ വേഫറുകൾ കൊണ്ടുപോകുന്നതിൽ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റം നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ചെറിയ വ്യതിയാനങ്ങൾ പോലും മുഴുവൻ പ്രക്രിയയെയും അപകടത്തിലാക്കുമെന്നതിനാൽ ഈ സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് കൃത്യതയും കൃത്യതയും അനിവാര്യമായ ആവശ്യകതകളാണ്. അതിനാൽ, വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിലെ ഘടകങ്ങൾ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വസ്തുക്കളിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിക്കേണ്ടത്, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് ആ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു.

ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിന്റെ ചില ഭാഗങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

1. വാക്വം ചക്ക് ടേബിൾ

വാക്വം ചക്ക് ടേബിൾ ആണ് വേഫർ പിടിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നത്, വേഫറിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാതിരിക്കാൻ അതിന് സ്ഥിരതയുള്ള ഒരു പ്രതലം ഉണ്ടായിരിക്കണം. ഉയർന്ന സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും നൽകുന്ന പരന്നതും സുഷിരങ്ങളില്ലാത്തതുമായ ഒരു പ്രതലമുള്ളതിനാൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ മേശ നിർമ്മിക്കാൻ അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാണ്. കൂടാതെ, ഗ്രാനൈറ്റിന് താപ വികാസത്തിന്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകം ഉണ്ട്, ഇത് വേഫറിൽ ഡൈമൻഷണൽ മാറ്റങ്ങൾക്ക് കാരണമായേക്കാവുന്ന താപനില മാറ്റങ്ങളെ പ്രതിരോധിക്കും.

2. എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ്

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിലൂടെ വേഫർ കൊണ്ടുപോകാൻ എയർ-ബെയറിംഗ് ഘട്ടം ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും ആവശ്യമുള്ള ഘർഷണരഹിതമായ ചലനം നൽകുന്നതിനാണ് സ്റ്റേജ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ ആപ്ലിക്കേഷനിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കാരണം ഇത് കട്ടിയുള്ളതും കടുപ്പമുള്ളതുമായ ഒരു കല്ലാണ്, കൂടാതെ കാലക്രമേണ രൂപഭേദം വരുത്തുന്നതിനും തേയ്മാനം ഉണ്ടാകുന്നതിനും ഇത് പ്രതിരോധിക്കുന്നു.

3. ലീനിയർ മോഷൻ ഗൈഡുകൾ

എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജിനെ നയിക്കാൻ ലീനിയർ മോഷൻ ഗൈഡുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, പിശകുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് അവ കൃത്യമായി സ്ഥാപിക്കണം. മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരതയും ശക്തിയും ഉള്ളതിനാൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ ഗൈഡ് നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതും ആണ്, ഇത് ഗൈഡ് സിസ്റ്റത്തിന്റെ ദീർഘായുസ്സ് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

4. മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറിന്റെ അളവുകളും ഗുണങ്ങളും അളക്കാൻ മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന കാഠിന്യം, കുറഞ്ഞ വികാസം, ലോഡിന് കീഴിലുള്ള കുറഞ്ഞ രൂപഭേദം എന്നിവ ഉള്ളതിനാൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഈ ഉപകരണം നിർമ്മിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാണ്. മാത്രമല്ല, ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ സ്ഥിരത മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ കാലക്രമേണ സ്ഥിരതയോടെയും കൃത്യതയോടെയും തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഉപസംഹാരമായി, അർദ്ധചാലക വ്യവസായം കൃത്യതയെയും കൃത്യതയെയും ആശ്രയിക്കുന്നു, കൂടാതെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ വളരെ വിശ്വസനീയവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണെന്ന് തെളിയിക്കപ്പെട്ടിട്ടുണ്ട്. വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിലെ നിരവധി നിർണായക ഘടകങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന സ്ഥിരത, കൃത്യത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം എന്നിവ ആവശ്യമുള്ളതിനാൽ, ഈ നിർണായക ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി എഞ്ചിനീയർമാർ ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളിലേക്ക് തിരിഞ്ഞു.