ലീനിയർ മോട്ടോർ + ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ്: പുതിയ തലമുറ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റത്തിന്റെ കാതലായ രഹസ്യം.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ കൃത്യമായ ശൃംഖലയിൽ, വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റം "ചിപ്പ് പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനിന്റെ ലൈഫ്‌ലൈൻ" പോലെയാണ്, കൂടാതെ അതിന്റെ സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും ചിപ്പുകളുടെ വിളവ് നിരക്ക് നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു. പുതിയ തലമുറ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റങ്ങൾ ലീനിയർ മോട്ടോറുകളെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുമായി വിപ്ലവകരമായി സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളുടെ അതുല്യമായ ഗുണങ്ങൾ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ട്രാൻസ്മിഷൻ അൺലോക്ക് ചെയ്യുന്നതിനുള്ള കോർ കോഡാണ്.

​
ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറ: സ്ഥിരതയുള്ള പ്രക്ഷേപണത്തിനായി ഒരു "പാറ പോലെ ഉറച്ച അടിത്തറ" നിർമ്മിക്കുന്നു.
കോടിക്കണക്കിന് വർഷത്തെ ഭൂമിശാസ്ത്രപരമായ പരിഷ്കരണത്തിന് വിധേയമായ ഗ്രാനൈറ്റിൽ, സാന്ദ്രവും ഏകീകൃതവുമായ ആന്തരിക ധാതു ക്രിസ്റ്റലൈസേഷൻ ഉണ്ട്. ഈ സ്വാഭാവിക സ്വഭാവം ഇതിനെ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ ഒരു അടിസ്ഥാന വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ ക്ലീൻറൂമുകളുടെ സങ്കീർണ്ണമായ പരിതസ്ഥിതിയിൽ, വളരെ കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം (5-7 × 10⁻⁶/℃ മാത്രം) ഉള്ള ഗ്രാനൈറ്റിന്, ഉപകരണ പ്രവർത്തനത്തിനിടയിൽ ഉണ്ടാകുന്ന താപത്തെയും പരിസ്ഥിതി താപനില മാറ്റങ്ങളുടെ സ്വാധീനത്തെയും ചെറുക്കാൻ കഴിയും, ഇത് അടിസ്ഥാന വലുപ്പത്തിന്റെ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുകയും താപ രൂപഭേദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ട്രാൻസ്മിഷൻ പാത്ത് വ്യതിയാനം ഒഴിവാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അതിന്റെ മികച്ച വൈബ്രേഷൻ ഡാംപിംഗ് പ്രകടനം ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുടെ സ്റ്റാർട്ട്-അപ്പ്, ഷട്ട്ഡൗൺ, ആക്സിലറേഷൻ എന്നിവയ്ക്കിടെ ഉണ്ടാകുന്ന മെക്കാനിക്കൽ വൈബ്രേഷനുകളെയും വർക്ക്ഷോപ്പിലെ മറ്റ് ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ബാഹ്യ ഇടപെടലുകളെയും വേഗത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യും, ഇത് വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷനായി "സീറോ ഷേക്ക്" ഉള്ള ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള പ്ലാറ്റ്ഫോം നൽകുന്നു.
അതേസമയം, ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ രാസ സ്ഥിരത, ആസിഡും ആൽക്കലി റിയാജന്റുകളും അസ്ഥിരമായിരിക്കുന്നതും ഉയർന്ന ശുചിത്വം ആവശ്യമുള്ളതുമായ സെമികണ്ടക്ടർ വർക്ക്ഷോപ്പുകളിൽ അത് തുരുമ്പെടുക്കുകയോ തുരുമ്പെടുക്കുകയോ ചെയ്യുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, അങ്ങനെ മെറ്റീരിയൽ വാർദ്ധക്യം അല്ലെങ്കിൽ മലിനീകരണ ആഗിരണം മൂലം പ്രക്ഷേപണ കൃത്യതയിലുള്ള ആഘാതം ഒഴിവാക്കുന്നു. മിനുസമാർന്നതും ഇടതൂർന്നതുമായ ഉപരിതല സവിശേഷതകൾ പൊടിയുടെ അഡീഷൻ കൂടുതൽ ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുകയും വൃത്തിയുള്ള മുറികളുടെ കർശനമായ പൊടി രഹിത മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുകയും വേരിൽ നിന്ന് വേഫർ മലിനീകരണ സാധ്യത ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യും.
ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുടെയും ഗ്രാനൈറ്റിന്റെയും "സുവർണ്ണ പങ്കാളിത്ത" പ്രഭാവം
മെക്കാനിക്കൽ ട്രാൻസ്മിഷൻ ക്ലിയറൻസ് ഇല്ലാത്തതും, ഉയർന്ന ആക്സിലറേഷനും, ഉയർന്ന പ്രതികരണ വേഗതയും ഉള്ള ലീനിയർ മോട്ടോറുകൾ, വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷന് "വേഗതയേറിയതും, കൃത്യവും, സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ" ഗുണങ്ങൾ നൽകുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് അതിന് ഉറച്ചതും വിശ്വസനീയവുമായ ഒരു പിന്തുണാ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം നൽകുന്നു. പ്രകടനത്തിൽ ഒരു കുതിച്ചുചാട്ടം കൈവരിക്കാൻ രണ്ടും ഒരുമിച്ച് പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ലീനിയർ മോട്ടോർ വേഫർ കാരിയറിനെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ട്രാക്കിൽ പ്രവർത്തിപ്പിക്കുമ്പോൾ, അടിത്തറയുടെ ശക്തമായ കാഠിന്യവും സ്ഥിരതയും മോട്ടോർ ചാലകശക്തിയുടെ കാര്യക്ഷമമായ പ്രക്ഷേപണം ഉറപ്പാക്കുന്നു, ബലനഷ്ടമോ ബേസ് രൂപഭേദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ട്രാൻസ്മിഷൻ കാലതാമസമോ ഒഴിവാക്കുന്നു.
നാനോസ്കെയിൽ കൃത്യതയ്ക്കുള്ള ആവശ്യകതയാൽ, ലീനിയർ മോട്ടോറുകൾക്ക് സബ്-മൈക്രോൺ-ലെവൽ ഡിസ്പ്ലേസ്മെന്റ് നിയന്ത്രണം നേടാൻ കഴിയും. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുടെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് സവിശേഷതകൾ (±1μm-നുള്ളിൽ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്ന ഫ്ലാറ്റ്നെസ് പിശകുകളോടെ) ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുടെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണവുമായി തികച്ചും പൊരുത്തപ്പെടുന്നു, ഇത് വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷൻ സമയത്ത് പൊസിഷനിംഗ് പിശക് ±5μm-ൽ കുറവാണെന്ന് സംയുക്തമായി ഉറപ്പാക്കുന്നു. വിവിധ പ്രോസസ് ഉപകരണങ്ങൾക്കിടയിൽ അതിവേഗ ഷട്ടിൽ ചെയ്യുന്നതോ വേഫർ കൈമാറ്റത്തിനുള്ള കൃത്യമായ പാർക്കിംഗോ ആകട്ടെ, ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുടെയും ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുടെയും സംയോജനം വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷനിൽ "സീറോ ഡീവിയേഷനും സീറോ ജിറ്ററും" ഉറപ്പാക്കും.
വ്യവസായ പ്രാക്ടീസ് പരിശോധന: കാര്യക്ഷമതയിലും വിളവ് നിരക്കിലും ഇരട്ട പുരോഗതി.
വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റം അപ്‌ഗ്രേഡ് ചെയ്ത ശേഷം, ഒരു പ്രമുഖ ആഗോള സെമികണ്ടക്ടർ എന്റർപ്രൈസ് ഒരു ലീനിയർ മോട്ടോർ + ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് സൊല്യൂഷൻ സ്വീകരിച്ചു, ഇത് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ കാര്യക്ഷമത 40% വർദ്ധിപ്പിച്ചു, ട്രാൻസ്ഫർ പ്രക്രിയയിൽ കൂട്ടിയിടി, ഓഫ്‌സെറ്റ് പോലുള്ള തകരാറുകൾ സംഭവിക്കാനുള്ള സാധ്യത 85% കുറച്ചു, കൂടാതെ ചിപ്പുകളുടെ മൊത്തത്തിലുള്ള വിളവ് നിരക്ക് 6% മെച്ചപ്പെടുത്തി. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് നൽകുന്ന ട്രാൻസ്മിഷൻ സ്ഥിരതയുടെ ഉറപ്പും ലീനിയർ മോട്ടോറിന്റെ അതിവേഗവും കൃത്യവുമായ സിനർജി ഇഫക്റ്റും ഡാറ്റയ്ക്ക് പിന്നിലുണ്ട്, ഇത് വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷൻ പ്രക്രിയയിലെ നഷ്ടവും പിശകും ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.
മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ മുതൽ കൃത്യതയുള്ള നിർമ്മാണം വരെ, പ്രകടന ഗുണങ്ങൾ മുതൽ പ്രായോഗിക പരിശോധന വരെ, ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുടെയും ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുടെയും സംയോജനം വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ സിസ്റ്റങ്ങളുടെ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പുനർനിർവചിച്ചു. ഭാവിയിൽ സെമികണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യ 3nm, 2nm പ്രക്രിയകളിലേക്ക് പുരോഗമിക്കുമ്പോൾ, ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ അവയുടെ മാറ്റാനാകാത്ത ഗുണങ്ങളോടെ വ്യവസായത്തിന്റെ വികസനത്തിന് ശക്തമായ പ്രചോദനം നൽകുന്നത് തുടരും.