സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ ടെസ്റ്റിംഗ് ടേബിളിനായി ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിന്റെ ഗുണം.

​
സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ, ചിപ്പിന്റെ ഗുണനിലവാരവും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന കണ്ണിയാണ് വേഫർ പരിശോധന, കൂടാതെ പരിശോധനാ പട്ടികയുടെ കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും കണ്ടെത്തൽ ഫലങ്ങളിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് അതിന്റെ സവിശേഷ സവിശേഷതകളോടെ, സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ പരിശോധനാ പട്ടികയ്ക്ക് അനുയോജ്യമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പായി മാറുന്നു, നിങ്ങൾക്കായി മൾട്ടി-ഡൈമൻഷണൽ വിശകലനത്തിൽ നിന്ന് ഇനിപ്പറയുന്നവ.

ആദ്യം, കൃത്യത ഉറപ്പ് അളവ്
1. അൾട്രാ-ഹൈ ഫ്ലാറ്റ്‌നെസും സ്ട്രെയിറ്റ്‌നെസും: ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് നൂതന പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ചാണ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നത്, കൂടാതെ ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് ±0.001mm/m അല്ലെങ്കിൽ അതിലും ഉയർന്ന കൃത്യതയിൽ എത്താൻ കഴിയും, കൂടാതെ നേർരേഖയും മികച്ചതാണ്. വേഫർ പരിശോധന പ്രക്രിയയിൽ, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള തലം വേഫറിന് സ്ഥിരമായ പിന്തുണ നൽകുകയും പരിശോധനാ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രോബിനും വേഫർ പ്രതലത്തിലെ സോൾഡർ സന്ധികൾക്കും ഇടയിൽ കൃത്യമായ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
2. വളരെ കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം താപനില വ്യതിയാനങ്ങളോട് സംവേദനക്ഷമതയുള്ളതാണ്, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം വളരെ കുറവാണ്, സാധാരണയായി ഏകദേശം 5×10⁻⁶/℃. ഡിറ്റക്ഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം പ്രവർത്തിക്കുമ്പോൾ, ആംബിയന്റ് താപനിലയിൽ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ ഉണ്ടായാലും, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ വലുപ്പം വളരെ കുറച്ച് മാത്രമേ മാറുന്നുള്ളൂ. ഉദാഹരണത്തിന്, വേനൽക്കാലത്ത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വർക്ക്‌ഷോപ്പിൽ, സാധാരണ മെറ്റൽ ബേസ് ഡിറ്റക്ഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ താപനില വേഫറിന്റെയും ഡിറ്റക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെയും ആപേക്ഷിക സ്ഥാനം മാറാൻ കാരണമായേക്കാം, ഇത് കണ്ടെത്തൽ കൃത്യതയെ ബാധിച്ചേക്കാം; ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഡിറ്റക്ഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന് സ്ഥിരത നിലനിർത്താനും കണ്ടെത്തൽ പ്രക്രിയയിൽ വേഫറിന്റെയും ഡിറ്റക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെയും ആപേക്ഷിക സ്ഥാന കൃത്യത ഉറപ്പാക്കാനും ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കണ്ടെത്തലിനായി സ്ഥിരതയുള്ള ഒരു അന്തരീക്ഷം നൽകാനും കഴിയും.
രണ്ടാമതായി, സ്ഥിരത അളവ്
1. സ്ഥിരതയുള്ള ഘടനയും വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധവും: ദശലക്ഷക്കണക്കിന് വർഷത്തെ ഭൂമിശാസ്ത്ര പ്രക്രിയകൾക്ക് ശേഷം, ഗ്രാനൈറ്റ് ആന്തരിക ഘടന സാന്ദ്രവും ഏകീകൃതവുമാണ്. ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ ഫാക്ടറിയുടെ സങ്കീർണ്ണമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ, പെരിഫറൽ ഉപകരണങ്ങളുടെയും ചുറ്റിനടക്കുന്ന ഉദ്യോഗസ്ഥരുടെയും പ്രവർത്തനം മൂലമുണ്ടാകുന്ന വൈബ്രേഷൻ ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയാൽ ഫലപ്രദമായി ദുർബലപ്പെടുത്തുന്നു.
2. ദീർഘകാല ഉപയോഗ കൃത്യത: മറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഗ്രാനൈറ്റിന് ഉയർന്ന കാഠിന്യം, ശക്തമായ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവയുണ്ട്, കൂടാതെ മോസ് കാഠിന്യം 6-7 വരെ എത്താം. പതിവ് വേഫർ ലോഡിംഗ്, അൺലോഡിംഗ്, പരിശോധന പ്രവർത്തനങ്ങൾ എന്നിവയിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഉപരിതലം എളുപ്പത്തിൽ ധരിക്കില്ല. ഡാറ്റാ സ്റ്റാറ്റിസ്റ്റിക്സിന്റെ യഥാർത്ഥ ഉപയോഗം അനുസരിച്ച്, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ടെസ്റ്റിംഗ് ടേബിളിന്റെ ഉപയോഗം, 5000 മണിക്കൂറിനു ശേഷമുള്ള തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനം, പരന്നതും നേരായതുമായ കൃത്യത എന്നിവ ഇപ്പോഴും പ്രാരംഭ കൃത്യതയുടെ 98% ത്തിലധികം നിലനിർത്താൻ കഴിയും, പതിവ് കാലിബ്രേഷൻ, അറ്റകുറ്റപ്പണി സമയങ്ങൾ എന്നിവ മൂലമുണ്ടാകുന്ന അടിത്തറയുടെ തേയ്മാനം കാരണം ഉപകരണങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നു, ബിസിനസ് പ്രവർത്തന ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു, പരിശോധനാ ജോലിയുടെ ദീർഘകാല സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു.

മൂന്നാമത്തേത്, വൃത്തിയുള്ളതും ഇടപെടൽ വിരുദ്ധവുമായ മാനം
1. കുറഞ്ഞ പൊടി ഉത്പാദനം: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ അന്തരീക്ഷം വളരെ വൃത്തിയുള്ളതായിരിക്കണം, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് മെറ്റീരിയൽ തന്നെ സ്ഥിരതയുള്ളതും പൊടിപടലങ്ങൾ ഉത്പാദിപ്പിക്കാൻ എളുപ്പവുമല്ല. ടെസ്റ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ പ്രവർത്തന സമയത്ത്, ബേസ് ഉൽ‌പാദിപ്പിക്കുന്ന പൊടി വേഫറിനെ മലിനമാക്കുന്നത് ഒഴിവാക്കുന്നു, കൂടാതെ പൊടിപടലങ്ങൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട്, ഓപ്പൺ സർക്യൂട്ട് എന്നിവയുടെ അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു. പൊടി രഹിത വർക്ക്‌ഷോപ്പിന്റെ വേഫർ പരിശോധനാ മേഖലയിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് പരിശോധനാ പട്ടികയ്ക്ക് ചുറ്റുമുള്ള പൊടി സാന്ദ്രത എല്ലായ്പ്പോഴും വളരെ താഴ്ന്ന നിലയിലേക്ക് നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ കർശനമായ ശുചിത്വ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു.
2. കാന്തിക ഇടപെടൽ ഇല്ല: കണ്ടെത്തൽ ഉപകരണങ്ങൾ വൈദ്യുതകാന്തിക പരിസ്ഥിതിയോട് സംവേദനക്ഷമതയുള്ളവയാണ്, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് ഒരു കാന്തികമല്ലാത്ത വസ്തുവാണ്, ഇത് കണ്ടെത്തൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഇലക്ട്രോണിക് സിഗ്നലിനെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയില്ല. വളരെ ഉയർന്ന വൈദ്യുതകാന്തിക അന്തരീക്ഷം ആവശ്യമുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ബീം കണ്ടെത്തലിന്റെയും മറ്റ് പരീക്ഷണ സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെയും ഉപയോഗത്തിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് കണ്ടെത്തൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഇലക്ട്രോണിക് സിഗ്നലിന്റെ സ്ഥിരമായ സംപ്രേഷണം ഉറപ്പാക്കുകയും പരിശോധനാ ഫലങ്ങളുടെ കൃത്യത ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള വൈദ്യുത പ്രകടനത്തിനായി വേഫർ പരിശോധിക്കുമ്പോൾ, കാന്തികമല്ലാത്ത ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് കണ്ടെത്തൽ കറന്റ്, വോൾട്ടേജ് സിഗ്നലുകളുമായുള്ള ഇടപെടൽ ഒഴിവാക്കുന്നു, അതിനാൽ കണ്ടെത്തൽ ഡാറ്റ യഥാർത്ഥത്തിൽ വേഫർ വൈദ്യുത സവിശേഷതകളെ പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നു.