വേഫർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിലെ വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധത്തിന്റെയും താപ സ്ഥിരതയുടെയും കാര്യത്തിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുടെ ഗുണങ്ങൾ.

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം നാനോസ്കെയിൽ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിലേക്ക് നീങ്ങുന്ന പ്രക്രിയയിൽ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിലെ ഒരു പ്രധാന കണ്ണി എന്ന നിലയിൽ വേഫർ കട്ടിംഗിന് ഉപകരണ സ്ഥിരതയ്ക്ക് വളരെ കർശനമായ ആവശ്യകതകളുണ്ട്. മികച്ച വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധവും താപ സ്ഥിരതയും ഉള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ്, വേഫർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകമായി മാറിയിരിക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന കൃത്യതയും ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയും ഉള്ള വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് നേടുന്നതിന് വിശ്വസനീയമായ ഒരു ഗ്യാരണ്ടി നൽകുന്നു.

ഉയർന്ന ഡാംപിംഗ്, ആന്റി-വൈബ്രേഷൻ സവിശേഷതകൾ: നാനോ-ലെവൽ കട്ടിംഗ് കൃത്യത സംരക്ഷിക്കുന്നു.
വേഫർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ പ്രവർത്തിക്കുമ്പോൾ, സ്പിൻഡിലിന്റെ ഉയർന്ന വേഗതയിലുള്ള ഭ്രമണം, കട്ടിംഗ് ഉപകരണത്തിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി വൈബ്രേഷൻ, ചുറ്റുമുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുന്ന പാരിസ്ഥിതിക വൈബ്രേഷൻ എന്നിവയെല്ലാം കട്ടിംഗ് കൃത്യതയിൽ കാര്യമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തും. പരമ്പരാഗത ലോഹ അടിത്തറകളുടെ ഡാംപിംഗ് പ്രകടനം പരിമിതമാണ്, ഇത് വൈബ്രേഷനുകൾ വേഗത്തിൽ കുറയ്ക്കുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു, ഇത് കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ മൈക്രോൺ-ലെവൽ വിറയലിലേക്ക് നയിക്കുകയും ചിപ്പ് ചെയ്ത അരികുകൾ, വേഫറുകളിൽ വിള്ളലുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള വൈകല്യങ്ങൾക്ക് നേരിട്ട് കാരണമാവുകയും ചെയ്യുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ ഉയർന്ന ഡാംപിംഗ് സവിശേഷതകൾ ഈ പ്രശ്നം അടിസ്ഥാനപരമായി പരിഹരിച്ചു.
ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ആന്തരിക ധാതു പരലുകൾ പരസ്പരം ഇഴചേർന്ന് ഒരു സ്വാഭാവിക ഊർജ്ജ വിസർജ്ജന ഘടന ഉണ്ടാക്കുന്നു. വൈബ്രേഷൻ അടിത്തറയിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുമ്പോൾ, അതിന്റെ ആന്തരിക മൈക്രോസ്ട്രക്ചറിന് വൈബ്രേഷൻ ഊർജ്ജത്തെ വേഗത്തിൽ താപ ഊർജ്ജമാക്കി മാറ്റാൻ കഴിയും, ഇത് കാര്യക്ഷമമായ വൈബ്രേഷൻ അറ്റൻയുവേഷൻ കൈവരിക്കുന്നു. പരീക്ഷണ ഡാറ്റ കാണിക്കുന്നത് അതേ വൈബ്രേഷൻ പരിതസ്ഥിതിയിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയ്ക്ക് 0.5 സെക്കൻഡിനുള്ളിൽ വൈബ്രേഷൻ ആംപ്ലിറ്റ്യൂഡ് 90% ൽ കൂടുതൽ കുറയ്ക്കാൻ കഴിയുമെന്നാണ്, അതേസമയം ലോഹ അടിത്തറയ്ക്ക് 3 മുതൽ 5 സെക്കൻഡ് വരെ ആവശ്യമാണ്. ഈ മികച്ച ഡാംപിംഗ് പ്രകടനം നാനോസ്കെയിൽ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ കട്ടിംഗ് ടൂൾ സ്ഥിരതയുള്ളതായി ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് വേഫർ കട്ടിംഗിന്റെ സുഗമമായ അരികിൽ ഉറപ്പ് നൽകുകയും ചിപ്പിംഗ് നിരക്ക് ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, 5nm വേഫർ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്ക് 10μm-നുള്ളിൽ ചിപ്പിംഗ് വലുപ്പം നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ലോഹ അടിത്തറയുള്ള ഉപകരണങ്ങളേക്കാൾ 40% കൂടുതലാണ്.
അൾട്രാ-ലോ തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ കോഫിഫിഷ്യന്റ്: താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളെ പ്രതിരോധിക്കും.
വേഫർ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഘർഷണം മൂലമുണ്ടാകുന്ന താപം, ഉപകരണങ്ങളുടെ ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിൽ നിന്നുള്ള താപ വിസർജ്ജനം, വർക്ക്ഷോപ്പ് പരിസ്ഥിതിയിലെ താപനിലയിലെ മാറ്റങ്ങൾ എന്നിവയെല്ലാം ഉപകരണ ഘടകങ്ങളുടെ താപ രൂപഭേദം വരുത്താൻ കാരണമാകും. ലോഹ വസ്തുക്കളുടെ താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം താരതമ്യേന ഉയർന്നതാണ് (ഏകദേശം 12×10⁻⁶/℃). താപനില 5℃ വരെ ചാഞ്ചാടുമ്പോൾ, 1 മീറ്റർ നീളമുള്ള ഒരു ലോഹ അടിത്തറ 60μm രൂപഭേദം വരുത്തിയേക്കാം, ഇത് കട്ടിംഗ് സ്ഥാനം മാറാൻ കാരണമാവുകയും കട്ടിംഗ് കൃത്യതയെ ഗുരുതരമായി ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും.
ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം (4-8) ×10⁻⁶/℃ മാത്രമാണ്, ഇത് ലോഹ വസ്തുക്കളുടെ മൂന്നിലൊന്നിൽ താഴെയാണ്. അതേ താപനില വ്യതിയാനത്തിൽ, അതിന്റെ ഡൈമൻഷണൽ മാറ്റം മിക്കവാറും അവഗണിക്കാം. ഒരു പ്രത്യേക സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സംരംഭത്തിന്റെ അളന്ന ഡാറ്റ കാണിക്കുന്നത്, 8 മണിക്കൂർ തുടർച്ചയായ ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള വേഫർ കട്ടിംഗ് പ്രവർത്തനത്തിൽ, ആംബിയന്റ് താപനില 10℃ ചാഞ്ചാടുമ്പോൾ, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുള്ള ഉപകരണങ്ങളുടെ കട്ടിംഗ് പൊസിഷൻ ഓഫ്‌സെറ്റ് 20μm-ൽ താഴെയാണെന്നും, ലോഹ അടിത്തറയുള്ള ഉപകരണങ്ങളുടെ കട്ടിംഗ് പൊസിഷൻ ഓഫ്‌സെറ്റ് 60μm കവിയുന്നുവെന്നുമാണ്. ഈ സ്ഥിരതയുള്ള താപ പ്രകടനം കട്ടിംഗ് ഉപകരണത്തിനും വേഫറിനും ഇടയിലുള്ള ആപേക്ഷിക സ്ഥാനം എല്ലായ്‌പ്പോഴും കൃത്യമായി നിലനിൽക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. ദീർഘകാല തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനത്തിലോ പരിസ്ഥിതി താപനിലയിലെ വലിയ മാറ്റങ്ങളിലോ പോലും, കട്ടിംഗ് കൃത്യതയുടെ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ കഴിയും.
കാഠിന്യവും തേയ്മാന പ്രതിരോധവും: ഉപകരണങ്ങളുടെ ദീർഘകാല സ്ഥിരതയുള്ള പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുക.
വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധത്തിന്റെയും താപ സ്ഥിരതയുടെയും ഗുണങ്ങൾക്ക് പുറമേ, ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും വേഫർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ വിശ്വാസ്യത കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റിന് മോസ് സ്കെയിലിൽ 6 മുതൽ 7 വരെ കാഠിന്യവും 120MPa-യിൽ കൂടുതലുള്ള കംപ്രസ്സീവ് ശക്തിയുമുണ്ട്. കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്കിടെയുള്ള വലിയ സമ്മർദ്ദത്തെയും ആഘാത ശക്തിയെയും ഇതിന് നേരിടാൻ കഴിയും, കൂടാതെ രൂപഭേദം സംഭവിക്കാൻ സാധ്യതയില്ല. അതേസമയം, അതിന്റെ സാന്ദ്രമായ ഘടന ഇതിന് മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം നൽകുന്നു. പതിവ് കട്ടിംഗ് പ്രവർത്തനങ്ങൾ നടത്തുമ്പോൾ പോലും, അടിത്തറയുടെ ഉപരിതലം തേയ്മാനത്തിന് സാധ്യതയില്ല, ഇത് ഉപകരണങ്ങൾ വളരെക്കാലം ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രവർത്തനം നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
പ്രായോഗിക പ്രയോഗങ്ങളിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകളുള്ള കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ സ്വീകരിച്ചുകൊണ്ട് പല വേഫർ നിർമ്മാണ സംരംഭങ്ങളും ഉൽപ്പന്ന വിളവും ഉൽപാദന കാര്യക്ഷമതയും ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്. ആഗോളതലത്തിൽ പ്രമുഖമായ ഒരു ഫൗണ്ടറിയിൽ നിന്നുള്ള ഡാറ്റ കാണിക്കുന്നത് ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഉപകരണങ്ങൾ അവതരിപ്പിച്ചതിനുശേഷം, വേഫർ കട്ടിംഗ് വിളവ് 88% ൽ നിന്ന് 95% ൽ കൂടുതലായി വർദ്ധിച്ചു, ഉപകരണ പരിപാലന ചക്രം മൂന്ന് മടങ്ങ് വർദ്ധിപ്പിച്ചു, ഇത് ഉൽ‌പാദനച്ചെലവ് ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുകയും വിപണി മത്സരശേഷി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്തു.
ഉപസംഹാരമായി, മികച്ച വൈബ്രേഷൻ പ്രതിരോധം, താപ സ്ഥിരത, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവയുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ്, വേഫർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് സമഗ്രമായ പ്രകടന ഗ്യാരണ്ടി നൽകുന്നു. അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യ ഉയർന്ന കൃത്യതയിലേക്ക് പുരോഗമിക്കുമ്പോൾ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസുകൾ വേഫർ നിർമ്മാണ മേഖലയിൽ കൂടുതൽ പ്രധാനപ്പെട്ട പങ്ക് വഹിക്കും, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ തുടർച്ചയായ നൂതന വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നു.