സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഒരു വസ്തുവായി മാറിയിരിക്കുന്ന ഒരു തരം ഹാർഡ് റോക്കാണ് ഗ്രാനൈറ്റ്. ഇതിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ ഇതിനെ അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കാൻ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. തൽഫലമായി, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉപകരണ ഉൽപ്പന്നങ്ങളിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലി വിപുലമായ പ്രയോഗ മേഖലകൾ കണ്ടെത്തിയിട്ടുണ്ട്.
ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലിയുടെ ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്രയോഗങ്ങളിലൊന്ന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള മെഷീൻ ടൂൾ ഘടനകളുടെ നിർമ്മാണത്തിലാണ്. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ കാഠിന്യവും സ്ഥിരതയും വളരെ കുറച്ച് അല്ലെങ്കിൽ രൂപഭേദം കൂടാതെ കൃത്യവും കൃത്യവുമായ ഉപകരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നത് സാധ്യമാക്കുന്നു. അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പോലുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ ഈ അളവിലുള്ള കൃത്യത ആവശ്യമാണ്, അവിടെ ബീം കൃത്യമായി വേഫറിലേക്ക് നയിക്കണം.
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലിയുടെ മറ്റൊരു പ്രയോഗം മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിലാണ്. നിർമ്മിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യത അളക്കുകയും പരിശോധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിനാൽ മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, മികച്ച വൈബ്രേഷൻ ഡാമ്പിംഗ് ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഇതിനെ തിരഞ്ഞെടുക്കാനുള്ള വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു. വേഫറുകളുടെ സ്റ്റേജിംഗിലും പരിശോധനയിലും ഉപയോഗിക്കുന്ന വലിയ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രതലങ്ങളും ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു.
സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലിയുടെ വിപുലമായ പ്രയോഗത്തിന്റെ മറ്റൊരു മേഖലയാണ് ഒപ്റ്റിക്കൽ ടേബിളുകൾ. ഡാറ്റാ ആശയവിനിമയത്തിനുള്ള വേവ്ഗൈഡുകൾ പോലുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ പരിശോധനയിൽ ഒപ്റ്റിക്കൽ ടേബിളുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ പരന്നത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത എന്നിവ ഒപ്റ്റിക്സിന്റെ ഇൻസ്റ്റാളേഷനും സ്ഥാനനിർണ്ണയത്തിനും ഉയർന്ന സ്ഥിരതയുള്ള ഒരു പ്രതലം നൽകാൻ അതിനെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യവും കൃത്യവുമായ പരിശോധന നടത്താൻ ആവശ്യമായ സ്ഥിരതയും കാഠിന്യവും ഗ്രാനൈറ്റ് ഒപ്റ്റിക്കൽ ടേബിളുകൾക്ക് നൽകാൻ കഴിയും.
വേഫർ ചക്കുകളുടെയും ഘട്ടങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണത്തിലും ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രയോഗം കണ്ടെത്തുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, കൃത്യതയുള്ള വിന്യാസവും സ്ഥാന നിയന്ത്രണവും നിർണായകമാണ്. പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് വേഫറുകളെ സ്ഥാനത്ത് നിർത്തുന്ന വേഫർ ചക്കുകൾ, ഉയർന്ന താപനിലയെയും വാക്വം അവസ്ഥകളെയും നേരിടുമ്പോൾ സ്ഥാന കൃത്യത നിലനിർത്തണം. ഗ്രാനൈറ്റിന് വിശാലമായ താപനിലകളിൽ മികച്ച ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരതയുണ്ട്, കൂടാതെ വാക്വം അവസ്ഥകളെ നേരിടാൻ കഴിയും, ഇത് വേഫർ ചക്കുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. ഒരു സ്ഥാനത്ത് നിന്ന് മറ്റൊന്നിലേക്ക് വേഫറുകളുടെ ചലനത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ചലനങ്ങളുടെ ഒരു സൈക്ലിംഗ് ശ്രേണിയിലൂടെ കടന്നുപോകുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലി തുടർച്ചയായതും ആവർത്തിച്ചുള്ളതുമായ ചലന ചക്രങ്ങളെ വഹിക്കാൻ ആവശ്യമായ സ്ഥിരതയും ഈടുതലും നൽകുന്നു.
ചുരുക്കത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് അസംബ്ലിയുടെ പ്രയോഗം വളരെ വലുതാണ്. ഡൈമൻഷണൽ സ്റ്റെബിലിറ്റി, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, വൈബ്രേഷൻ ഡാംപിംഗ് തുടങ്ങിയ അതിന്റെ ഗുണങ്ങൾ സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളുടെ വിവിധ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള യന്ത്ര ഉപകരണങ്ങളുടെയും മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണം മുതൽ ഒപ്റ്റിക്കൽ ടേബിളുകളുടെയും വേഫർ ഘട്ടങ്ങളുടെയും ചക്കുകളുടെയും നിർമ്മാണം വരെ, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ നിർമ്മാണം കൈവരിക്കുന്നതിന് ആവശ്യമായ സ്ഥിരത, കൃത്യത, ആവർത്തനക്ഷമത എന്നിവ നൽകുന്നതിൽ ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ഗുണങ്ങൾ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-06-2023