ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഉപയോഗിച്ചുള്ള സിംഗിൾ ആക്സിസ് എയർ ഫ്ലോട്ട് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ പ്രയോഗ മേഖല.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം: ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയ്ക്ക് സർക്യൂട്ട് പാറ്റേൺ കൃത്യമായി വേഫറിലേക്ക് മാറ്റേണ്ടതുണ്ട്. സിംഗിൾ ആക്സിസ് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ലിത്തോഗ്രാഫി ഉപകരണങ്ങളിലെ വേഫർ ടേബിളിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്ഥാനനിർണ്ണയവും സ്ഥിരതയുള്ള പിന്തുണയും നൽകാൻ കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, ASML ഉം മറ്റ് അന്താരാഷ്ട്ര പ്രശസ്ത ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ നിർമ്മാതാക്കളും അവരുടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉപകരണങ്ങളിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് മോഷൻ മൊഡ്യൂളുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് ലിത്തോഗ്രാഫി പാറ്റേണിന്റെ കൃത്യത ഉറപ്പാക്കാൻ നാനോമീറ്റർ തലത്തിൽ വേഫറിന്റെ സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത നിയന്ത്രിക്കാനും അതുവഴി ചിപ്പിന്റെ സംയോജനവും പ്രകടനവും മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും.
കൃത്യത അളക്കൽ ഫീൽഡ്: വ്യാവസായിക ഉൽ‌പാദനത്തിൽ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു കൃത്യത അളക്കൽ ഉപകരണമാണ് CMM, ഇത് വർക്ക്പീസിന്റെ വലുപ്പം, ആകൃതി, സ്ഥാന കൃത്യത എന്നിവ അളക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിലെ സിംഗിൾ ആക്സിസ് എയർ ഫ്ലോട്ടിന്റെ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂൾ CMM-ന്റെ ചലന പ്ലാറ്റ്‌ഫോമായി ഉപയോഗിക്കാം, ഇത് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള രേഖീയ ചലനം തിരിച്ചറിയുകയും അളക്കൽ പ്രോബിന് സ്ഥിരതയുള്ള ചലന പാത നൽകുകയും ചെയ്യും. ഉദാഹരണത്തിന്, ഹെക്‌സഗണിന്റെ ഹൈ-എൻഡ് CMM ഈ കോമ്പിനേഷൻ ഉപയോഗിച്ച് വലുതും സങ്കീർണ്ണവുമായ ഭാഗങ്ങൾ മൈക്രോൺ ലെവൽ വരെ അളക്കുന്ന കൃത്യതയോടെ അളക്കുന്നു, ഇത് ഓട്ടോമോട്ടീവ്, എയ്‌റോസ്‌പേസ്, മറ്റ് വ്യവസായങ്ങൾ എന്നിവയിലെ ഭാഗങ്ങളുടെ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തിന് ശക്തമായ ഗ്യാരണ്ടി നൽകുന്നു.
എയ്‌റോസ്‌പേസ് ഫീൽഡ്: എയ്‌റോസ്‌പേസ് ഭാഗങ്ങളുടെ സംസ്‌കരണത്തിലും പരിശോധനയിലും ഉയർന്ന കൃത്യത ആവശ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, എയർക്രാഫ്റ്റ് എഞ്ചിൻ ബ്ലേഡുകളുടെ മെഷീനിംഗിന് ബ്ലേഡ് പ്രൊഫൈൽ കൃത്യത ഉറപ്പാക്കാൻ ഉപകരണത്തിന്റെ ചലന പാതയുടെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമാണ്. സിംഗിൾ ആക്സിസ് എയർ ഫ്ലോട്ട് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് അഞ്ച്-ആക്സിസ് മെഷീനിംഗ് സെന്ററിലും മറ്റ് ഉപകരണങ്ങളിലും പ്രയോഗിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഉപകരണത്തിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ചലന നിയന്ത്രണം നൽകാനും ബ്ലേഡിന്റെ മെഷീനിംഗ് കൃത്യത ഡിസൈൻ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാനും കഴിയും. അതേസമയം, എയ്‌റോ എഞ്ചിന്റെ അസംബ്ലി പ്രക്രിയയിൽ, ഭാഗങ്ങളുടെ അസംബ്ലി കൃത്യത കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള അളക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കേണ്ടതും ആവശ്യമാണ്. അസംബ്ലി ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കാൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന് അളക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് സ്ഥിരമായ പിന്തുണയും കൃത്യമായ ചലനവും നൽകാൻ കഴിയും.
ഒപ്റ്റിക്കൽ പരിശോധനാ മേഖല: ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിലും പരിശോധനാ പ്രക്രിയയിലും, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്ഥാനനിർണ്ണയവും അളവെടുപ്പും നടത്തേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, കണ്ണാടികൾ, ലെൻസുകൾ തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുമ്പോൾ, ഉപരിതല ആകൃതി കൃത്യത കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഇന്റർഫെറോമീറ്ററുകളും മറ്റ് ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. സിംഗിൾ ആക്സിസ് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഇന്റർഫെറോമീറ്ററിന്റെ ചലന പ്ലാറ്റ്‌ഫോമായി ഉപയോഗിക്കാം, ഇത് സബ്-മൈക്രോൺ പൊസിഷനിംഗ് കൃത്യത മനസ്സിലാക്കുകയും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ കണ്ടെത്തുന്നതിന് കൃത്യമായ ഡാറ്റ പിന്തുണ നൽകുകയും ചെയ്യും. കൂടാതെ, ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, ലേസർ ബീമിന്റെ സ്കാനിംഗ് പാത നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ചലന പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉപയോഗിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് നേടുന്നതിന് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് മോഷൻ മൊഡ്യൂളിന്റെ ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന് ഈ ആവശ്യകത നിറവേറ്റാൻ കഴിയും.