സെമികണ്ടക്ടർ പ്രിസിഷൻ ഘട്ടങ്ങളിലും അഡ്വാൻസ്ഡ് മെട്രോളജിയിലും ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ നിർണായക പങ്ക്.

ആഗോള സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം നിലവിൽ "ആങ്‌സ്ട്രോം യുഗ"ത്തിന്റെ തുടർച്ചയായ പരിശ്രമത്തിലാണ്, അവിടെ ട്രാൻസിസ്റ്റർ അളവുകൾ ഏതാനും ആറ്റങ്ങളുടെ വീതിയിൽ അളക്കുന്നു. ലിത്തോഗ്രാഫി, പരിശോധന ഉപകരണങ്ങൾ ഈ സൂക്ഷ്മ സ്കെയിലുകളിലേക്ക് മാറുമ്പോൾ, ഘടനാപരമായ സ്ഥിരതയ്ക്കുള്ള ആവശ്യം "മാക്രോ"യിൽ നിന്ന് "നാനോ"യിലേക്ക് മാറിയിരിക്കുന്നു. ഈ വിപ്ലവത്തിന്റെ കാതൽ ഭൂമിയെപ്പോലെ തന്നെ പുരാതനമായ ഒരു വസ്തുവാണ്: പ്രിസിഷൻ ഗ്രാനൈറ്റ്.

പലരും ഗ്രാനൈറ്റിനെ ഒരു ലളിതമായ കല്ലായി കാണുമ്പോൾ, ഒരു പശ്ചാത്തലത്തിൽനാനോപൊസിഷനിംഗ് ഘട്ടംഅല്ലെങ്കിൽ ഒരു ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ഇൻസ്പെക്ഷൻ സിസ്റ്റം, ഇത് ഒരു സങ്കീർണ്ണമായ എഞ്ചിനീയറിംഗ് സെറാമിക് ആണ്. സിലിക്കൺ നിർമ്മാണത്തിൽ സാധ്യമായതിന്റെ അതിരുകൾ കടക്കാൻ ആഗ്രഹിക്കുന്ന OEM-കൾക്ക് അടിസ്ഥാന മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങളും നൂതന ചലന പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകളും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം മനസ്സിലാക്കേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്.

ഗ്രാനൈറ്റ് സിഎംഎം vs. ഗ്രാനൈറ്റ് സർഫേസ് പ്ലേറ്റ്: എഞ്ചിനീയറിംഗ് മാറ്റം മനസ്സിലാക്കൽ.

പല ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണ ലാബുകളിലും,ഗ്രാനൈറ്റ് സർഫേസ് പ്ലേറ്റ്എല്ലായിടത്തും കാണപ്പെടുന്ന ഒരു ഫിക്സ്ചറാണ് - മാനുവൽ അളവെടുപ്പിനുള്ള വിശ്വസനീയവും പരന്നതുമായ ഒരു റഫറൻസ്. എന്നിരുന്നാലും, ഒരു സർഫസ് പ്ലേറ്റും ഗ്രാനൈറ്റ് CMM (കോർഡിനേറ്റ് മെഷറിംഗ് മെഷീൻ) ബേസും പരസ്പരം മാറ്റാവുന്നതാണെന്ന് ഒരു പൊതു തെറ്റിദ്ധാരണയുണ്ട്. ഒരു എഞ്ചിനീയറിംഗ് വീക്ഷണകോണിൽ, അവ രണ്ട് വ്യത്യസ്ത തലത്തിലുള്ള സങ്കീർണ്ണതയെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു.

സ്റ്റാറ്റിക് സ്റ്റെബിലിറ്റിക്ക് വേണ്ടിയാണ് ഒരു സർഫസ് പ്ലേറ്റ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. സ്റ്റേഷണറി ലോഡിന് കീഴിൽ പരന്നതായി തുടരുക എന്നതാണ് ഇതിന്റെ പ്രാഥമിക ജോലി. ഇതിനു വിപരീതമായി, ഒരു CMM-നോ പ്രിസിഷൻ സ്റ്റേജിനോ ഉള്ള ഒരു ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് ഡൈനാമിക് ലോഡുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യണം. ഒരു CMM-ന്റെ ബ്രിഡ്ജ് നീങ്ങുമ്പോഴോ ഒരു ലീനിയർ മോട്ടോർ നിരവധി Gs-ൽ ഒരു വേഫർ സ്റ്റേജിനെ ത്വരിതപ്പെടുത്തുമ്പോഴോ, ഗ്രാനൈറ്റ് വളയുക മാത്രമല്ല, ടോർഷനെയും ഹാർമോണിക് റെസൊണൻസിനെയും പ്രതിരോധിക്കണം.

ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും സൂക്ഷ്മമായ ധാന്യ ഘടനയും കാരണം ഡൈനാമിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി ZHHIMG എഞ്ചിനീയർമാർ പ്രത്യേകമായി "കറുത്ത ഗ്രാനൈറ്റ്" തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു. ഒരു സ്റ്റാൻഡേർഡ് സർഫേസ് പ്ലേറ്റ് കൂടുതൽ പോറസ് വൈവിധ്യം ഉപയോഗിച്ചേക്കാം, എന്നാൽ ഉയർന്ന വേഗതയിലുള്ള ചലനത്തിന്റെ "സ്നാപ്പ്" ഘടനാപരമായ റിംഗിംഗിലേക്ക് വിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ഒരു CMM ബേസിന് സാധ്യമായ ഏറ്റവും ഉയർന്ന യങ്ങിന്റെ മോഡുലസ് ആവശ്യമാണ്, അത് അളക്കൽ ഡാറ്റയെ ദുഷിപ്പിക്കും.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ കൃത്യതാ ഘട്ടങ്ങൾ: വിളവിന്റെ അടിസ്ഥാനം

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ത്രൂപുട്ടും യീൽഡും ഏറ്റവും നിർണായകമായ രണ്ട് മെട്രിക്സുകളാണ്. രണ്ടും പ്രകടനത്തെ നേരിട്ട് ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നുകൃത്യതാ ഘട്ടങ്ങൾ. ഒരു DUV/EUV ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിലെ വേഫർ ഘട്ടമായാലും അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇൻസ്പെക്ഷൻ (AOI) ഉപകരണത്തിലെ പൊസിഷനിംഗ് സിസ്റ്റമായാലും, അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ സബ്-നാനോമീറ്റർ ആവർത്തനക്ഷമത സുഗമമാക്കണം.

ഫാബിലെ പ്രധാന വെല്ലുവിളി താപമാണ്. ലീനിയർ മോട്ടോറുകളും ആക്യുവേറ്ററുകളും ഗണ്യമായ താപ ഊർജ്ജം ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. സ്റ്റേജ് ബേസ് അലുമിനിയം അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റീൽ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചതെങ്കിൽ, തത്ഫലമായുണ്ടാകുന്ന താപ വികാസം വേഫറിനെ അലൈൻമെന്റിൽ നിന്ന് മാറ്റാൻ ഇടയാക്കും, ഇത് "ഓവർലേ പിശകുകൾക്ക്" കാരണമാകും, ഇത് മുഴുവൻ ബാച്ചുകളുടെയും ചിപ്പുകളെ നശിപ്പിക്കും.

ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ വളരെ കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം (CTE) മോട്ടോറുകൾ ചൂടാകുമ്പോഴും സ്റ്റേജിന്റെ ഭൗതിക "ഭൂപടം" സ്ഥിരമായി നിലനിൽക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. കൂടാതെ, ZHHIMG സംയോജിത വായു ബെയറിംഗ് വഴികളുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃത ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ നൽകുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ഒരു കണ്ണാടി പോലുള്ള പരന്നതയിലേക്ക് ലാപ്പ് ചെയ്യാൻ കഴിയുന്നതിനാൽ, അത് എയർ ബെയറിംഗുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ എതിർമുഖമായി വർത്തിക്കുന്നു, ഘർഷണവും സ്റ്റക്ഷനും ഇല്ലാത്ത ഒരു നേർത്ത വായു ഫിലിമിൽ ഘട്ടങ്ങൾ "ഫ്ലോട്ട്" ചെയ്യാൻ അനുവദിക്കുന്നു.

നാനോപൊസിഷനിംഗ് സ്റ്റേജ് ബേസിന്റെ ഭൗതികശാസ്ത്രം

നമ്മൾ ലോകത്തിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുമ്പോൾനാനോപൊസിഷനിംഗ് ഘട്ടം, മനുഷ്യന്റെ മുടിയേക്കാൾ 10,000 മടങ്ങ് ചെറിയ ചലനങ്ങളെയാണ് നമ്മൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നത്. ഈ നിലയിൽ, വൈബ്രേഷനാണ് ശത്രു. HVAC സംവിധാനങ്ങൾ, കാൽനടയാത്ര, സമീപത്തുള്ള യന്ത്രങ്ങൾ എന്നിവ കാരണം സാധാരണ വ്യാവസായിക നിലകൾ നിരന്തരം വൈബ്രേറ്റ് ചെയ്യുന്നു.

ഗ്രാനൈറ്റ് ഒരു വലിയ ലോ-പാസ് ഫിൽട്ടറായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ഉയർന്ന പിണ്ഡവും ഉയർന്ന ആന്തരിക ഡാംപിംഗും കാരണം, സെൻസിറ്റീവ് സെൻസറുകളിലേക്കോ വേഫറിലേക്കോ എത്തുന്നതിനുമുമ്പ് ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി വൈബ്രേഷനുകൾ ഇത് സ്വാഭാവികമായി ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു. ലോകത്തിലെ മുൻനിര ലിത്തോഗ്രാഫി വിതരണക്കാർ അവരുടെ വാക്വം-അനുയോജ്യമായ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് കനത്തതും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ അടിത്തറ നൽകാൻ ZHHIMG-യെ ആശ്രയിക്കുന്നതിനുള്ള കാരണം ഈ "നിഷ്ക്രിയ ഒറ്റപ്പെടൽ" ആണ്. സീറോ ഔട്ട്‌ഗാസിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ ഞങ്ങളുടെ ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രത്യേകം പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോൺ-ബീം, EUV പ്രക്രിയകൾക്ക് ആവശ്യമായ ഉയർന്ന-വാക്വം പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

പരിധിയിലേക്ക് കടക്കുക: ZHHIMG യുടെ നേട്ടം

ഒരു അസംസ്കൃത കല്ലിൽ നിന്ന് സെമികണ്ടക്ടർ-ഗ്രേഡ് ഘടകത്തിലേക്കുള്ള മാറ്റം അങ്ങേയറ്റത്തെ ക്ഷമയുടെ ഒരു യാത്രയാണ്. CNC ഗ്രൈൻഡിംഗ് നമ്മെ അടുപ്പിക്കുമ്പോൾ, അന്തിമ "സൂപ്പർ-പ്രിസിഷൻ" ഗ്രേഡ് കൈകൊണ്ട് ലാപ്പിംഗ് വഴിയാണ് നേടുന്നത്. ZHHIMG ടെക്നീഷ്യൻമാർ അബ്രാസീവ് പേസ്റ്റുകളും മാനുവൽ ചലനങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച് ഒരു മൈക്രോണിന്റെ ഭിന്നസംഖ്യകൾ ഒരേസമയം ഷേവ് ചെയ്യുന്ന ഒരു പ്രക്രിയയാണിത്.

ഒരുനാനോപൊസിഷനിംഗ് ഘട്ടം, പരന്നത മാത്രമല്ല ആവശ്യകത; ഗൈഡ് പ്രതലങ്ങളുടെ സമാന്തരതയും ലംബതയും ഒരുപോലെ നിർണായകമാണ്. ഓരോ അച്ചുതണ്ടും പൂർണ്ണമായും വിന്യസിച്ചിട്ടുണ്ടെന്ന് പരിശോധിക്കാൻ ഞങ്ങളുടെ സൗകര്യം 0.1 ആർക്ക്-സെക്കൻഡ് റെസല്യൂഷനുള്ള ലേസർ ട്രാക്കറുകളും ഇലക്ട്രോണിക് ലെവലുകളും ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഒരു ഉപഭോക്താവ് അവരുടെ ലീനിയർ മോട്ടോറുകളും എൻകോഡറുകളും മൌണ്ട് ചെയ്യുമ്പോൾ, ഭൗതികശാസ്ത്രം അനുവദിക്കുന്നത്രയും മെക്കാനിക്കൽ അടിത്തറ "തികഞ്ഞത"യോട് അടുത്താണെന്ന് ഈ കരകൗശല നിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഫാബിന്റെ ഭാവി തെളിയിക്കുന്നു

വ്യവസായം 2nm നോഡുകളിലേക്കും അതിനപ്പുറത്തേക്കും നീങ്ങുമ്പോൾ, മെറ്റീരിയൽ പ്യൂരിറ്റിക്കും ഡൈമൻഷണൽ സ്റ്റെബിലിറ്റിക്കും വേണ്ടിയുള്ള ആവശ്യകതകൾ കൂടുതൽ രൂക്ഷമാകും. കാർബൺ ഫൈബർ ബ്രിഡ്ജുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സെറാമിക് വാക്വം ചക്കുകൾ പോലുള്ള മറ്റ് നൂതന വസ്തുക്കളുമായി ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ സംയോജനമാണ് ചലന നിയന്ത്രണത്തിലെ അടുത്ത അതിർത്തി.

ZHHIMG ഒരു വിതരണക്കാരൻ എന്നതിലുപരിയായി പ്രവർത്തിക്കാൻ പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്; ആഗോള സെമികണ്ടക്ടർ വിതരണ ശൃംഖലയിലെ ഒരു സഹകരണ പങ്കാളിയാണ് ഞങ്ങൾ. അടുത്ത തലമുറയിലെ കൃത്യതാ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് ആവശ്യമായ അൾട്രാ-സ്റ്റേബിൾ അടിത്തറകൾ നൽകുന്നതിലൂടെ, ഭാവി കെട്ടിപ്പടുക്കുന്ന യന്ത്രങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഞങ്ങൾ സഹായിക്കുന്നു.