സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉൽപ്പന്നത്തിനുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പോരായ്മകൾ

മികച്ച ഉപരിതല ഫിനിഷ്, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, മികച്ച വൈബ്രേഷൻ ഡാംപിംഗ് തുടങ്ങിയ മികച്ച സവിശേഷതകൾ കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ, പോളിഷിംഗ് മെഷീനുകൾ, മെട്രോളജി സിസ്റ്റങ്ങൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ അത്യാവശ്യമാണ്, കാരണം അവ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ കൃത്യമായ സ്ഥാനനിർണ്ണയവും സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന്റെ എല്ലാ ഗുണങ്ങളും ഉണ്ടായിരുന്നിട്ടും, അവയ്ക്കും വൈകല്യങ്ങളുണ്ട്. ഈ ലേഖനത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾക്കുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ വൈകല്യങ്ങളെക്കുറിച്ച് നമ്മൾ ചർച്ച ചെയ്യും.

ഒന്നാമതായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന താപ വികാസ ഗുണകം ഉണ്ട്. അതായത് താപ സമ്മർദ്ദത്തിൽ അവ ഗണ്യമായി വികസിക്കുന്നു, ഇത് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ പ്രശ്നങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഉയർന്ന കൃത്യതയും അളവിലുള്ള കൃത്യതയും ആവശ്യമാണ്, ഇത് താപ സമ്മർദ്ദം കാരണം വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യപ്പെടാം. ഉദാഹരണത്തിന്, താപ വികാസം മൂലമുള്ള സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ രൂപഭേദം ലിത്തോഗ്രാഫി സമയത്ത് അലൈൻമെന്റ് പ്രശ്നങ്ങൾക്ക് കാരണമായേക്കാം, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണത്തിന്റെ ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിച്ചേക്കാം.

രണ്ടാമതായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് പോറോസിറ്റി വൈകല്യങ്ങളുണ്ട്, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വാക്വം ചോർച്ചയ്ക്ക് കാരണമാകും. സിസ്റ്റത്തിലെ വായുവിന്റെയോ മറ്റേതെങ്കിലും വാതകത്തിന്റെയോ സാന്നിധ്യം വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ മലിനീകരണത്തിന് കാരണമായേക്കാം, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തെ ബാധിച്ചേക്കാവുന്ന വൈകല്യങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. ആർഗൺ, ഹീലിയം പോലുള്ള നിഷ്ക്രിയ വാതകങ്ങൾ സുഷിരങ്ങളുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളിലേക്ക് തുളച്ചുകയറുകയും വാക്വം പ്രക്രിയയുടെ സമഗ്രതയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്ന വാതക കുമിളകൾ സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യും.

മൂന്നാമതായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളിൽ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യതയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്ന സൂക്ഷ്മ ഒടിവുകൾ ഉണ്ട്. കാലക്രമേണ സൂക്ഷ്മ ഒടിവുകൾ ഉണ്ടാകാൻ സാധ്യതയുള്ള ഒരു പൊട്ടുന്ന വസ്തുവാണ് ഗ്രാനൈറ്റ്, പ്രത്യേകിച്ച് നിരന്തരമായ സമ്മർദ്ദ ചക്രങ്ങൾക്ക് വിധേയമാകുമ്പോൾ. സൂക്ഷ്മ ഒടിവുകളുടെ സാന്നിധ്യം ഡൈമൻഷണൽ അസ്ഥിരതയിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, ഇത് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ലിത്തോഗ്രാഫി അലൈൻമെന്റ് അല്ലെങ്കിൽ വേഫർ പോളിഷിംഗ് പോലുള്ള കാര്യമായ പ്രശ്നങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും.

നാലാമതായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് പരിമിതമായ വഴക്കം മാത്രമേയുള്ളൂ. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയ്ക്ക് വ്യത്യസ്ത പ്രക്രിയാ മാറ്റങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളാൻ കഴിയുന്ന വഴക്കമുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ ആവശ്യമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ കർക്കശമാണ്, വ്യത്യസ്ത പ്രക്രിയാ മാറ്റങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടാൻ കഴിയില്ല. അതിനാൽ, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിലെ ഏതെങ്കിലും മാറ്റങ്ങൾക്ക് ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുകയോ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുകയോ ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്, ഇത് പ്രവർത്തനരഹിതമാക്കുകയും ഉൽ‌പാദനക്ഷമതയെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

അഞ്ചാമതായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് അവയുടെ ഭാരവും ദുർബലതയും കാരണം പ്രത്യേക കൈകാര്യം ചെയ്യലും ഗതാഗതവും ആവശ്യമാണ്. ക്രെയിനുകൾ, ലിഫ്റ്ററുകൾ തുടങ്ങിയ പ്രത്യേക കൈകാര്യം ചെയ്യൽ ഉപകരണങ്ങൾ ആവശ്യമുള്ള സാന്ദ്രവും ഭാരമേറിയതുമായ ഒരു വസ്തുവാണ് ഗ്രാനൈറ്റ്. കൂടാതെ, കയറ്റുമതി സമയത്ത് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാതിരിക്കാൻ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം പായ്ക്ക് ചെയ്യലും ഗതാഗതവും ആവശ്യമാണ്, ഇത് അധിക ചെലവുകൾക്കും സമയത്തിനും കാരണമാകുന്നു.

ചുരുക്കത്തിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ ഗുണനിലവാരത്തെയും ഉൽപ്പാദനക്ഷമതയെയും ബാധിക്കുന്ന ചില പോരായ്മകളുണ്ട്. ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിലൂടെയും പരിപാലിക്കുന്നതിലൂടെയും ഈ പോരായ്മകൾ കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, മൈക്രോഫ്രാക്ചറുകൾക്കും പോറോസിറ്റി വൈകല്യങ്ങൾക്കും ഇടയ്ക്കിടെ പരിശോധന നടത്തുക, മലിനീകരണം തടയുന്നതിന് ശരിയായ വൃത്തിയാക്കൽ, ഗതാഗത സമയത്ത് ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം കൈകാര്യം ചെയ്യൽ എന്നിവ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. പോരായ്മകൾ ഉണ്ടെങ്കിലും, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ അവയുടെ മികച്ച ഉപരിതല ഫിനിഷ്, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, മികച്ച വൈബ്രേഷൻ ഡാമ്പിംഗ് എന്നിവ കാരണം സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ ഒരു പ്രധാന ഭാഗമായി തുടരുന്നു.