വേഫർ സംസ്കരണ ഉപകരണങ്ങളിൽ വളരെക്കാലമായി ഉപയോഗിച്ചുവരുന്ന പ്രകൃതിദത്തമായ ഒരു പാറയാണ് ഗ്രാനൈറ്റ്. കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, നല്ല സ്ഥിരത എന്നീ മികച്ച ഗുണങ്ങൾക്ക് ഇത് പേരുകേട്ടതാണ്. എന്നിരുന്നാലും, എല്ലാ വസ്തുക്കളെയും പോലെ, വേഫർ സംസ്കരണ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കുന്ന തരത്തിൽ ഗ്രാനൈറ്റിനും അതിന്റേതായ വൈകല്യങ്ങളുണ്ട്.
ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ ഒരു പ്രധാന പോരായ്മ പൊട്ടാനോ പൊട്ടാനോ ഉള്ള പ്രവണതയാണ്. പാറയുടെ രൂപീകരണ സമയത്ത് ഉണ്ടാകാവുന്ന മൈക്രോക്രാക്കുകളുടെ സാന്നിധ്യമാണ് ഇതിന് കാരണം. ഈ മൈക്രോക്രാക്കുകൾ തിരിച്ചറിഞ്ഞ് ശരിയായി സംസ്കരിച്ചില്ലെങ്കിൽ, അവ വ്യാപിക്കുകയും ഉപകരണങ്ങളുടെ പരാജയത്തിലേക്ക് നയിക്കുകയും ചെയ്യും. ഇത് സംഭവിക്കുന്നത് തടയാൻ, പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കൾ മൈക്രോക്രാക്കുകളിൽ നിന്ന് മുക്തമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ, സംസ്കരണ ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കൾ സംസ്കരിച്ച് പരീക്ഷിച്ച ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് ഉപയോഗിക്കേണ്ടതുണ്ട്.
ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ മറ്റൊരു പോരായ്മ അതിന്റെ നാശന സാധ്യതയാണ്. ഗ്രാനൈറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ നാശകാരികളായ അന്തരീക്ഷങ്ങളുമായി സമ്പർക്കത്തിൽ വന്നാൽ, അത് കാലക്രമേണ ജീർണിക്കാൻ തുടങ്ങും. ഇത് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നതിനോ ശരിയായി പ്രവർത്തിക്കാതിരിക്കുന്നതിനോ ഇടയാക്കും. ഇത് തടയുന്നതിന്, നിർമ്മാതാക്കൾ അവരുടെ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ശരിയായി സംസ്കരിച്ചിട്ടുണ്ടെന്നും ഏതെങ്കിലും തരത്തിലുള്ള നാശന സംഭവിക്കുന്നത് തടയുന്നുണ്ടെന്നും ഉറപ്പാക്കണം.
ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ അന്തർലീനമായ താപ ഗുണങ്ങൾ കാരണം കാലക്രമേണ വളയാനുള്ള സാധ്യതയും കൂടുതലാണ്. കാരണം, ഗ്രാനൈറ്റിന് താപ വികാസത്തിന്റെ വളരെ കുറഞ്ഞ ഗുണകം ഉണ്ട്, അതായത് താപനിലയിലെ മാറ്റങ്ങൾക്ക് വിധേയമാകുമ്പോൾ അത് വികസിക്കുകയോ ചുരുങ്ങുകയോ ചെയ്യുന്നില്ല. എന്നിരുന്നാലും, ചെറിയ അളവിലുള്ള വികാസമോ സങ്കോചമോ പോലും കാലക്രമേണ ഉപകരണങ്ങളിൽ വളയത്തിന് കാരണമാകും. ഈ തകരാർ സംഭവിക്കുന്നത് തടയാൻ ഉപകരണ നിർമ്മാതാവ് അവരുടെ ഉപകരണങ്ങൾ രൂപകൽപ്പന ചെയ്യുമ്പോൾ ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ ഗുണങ്ങൾ കണക്കിലെടുക്കേണ്ടത് പ്രധാനമാണ്.
അവസാനമായി, ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ സുഷിര സ്വഭാവം മലിനീകരണ പ്രശ്നങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. ഗ്രാനൈറ്റ് ശരിയായി സീൽ ചെയ്തില്ലെങ്കിൽ, വേഫറിന്റെ ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കുന്ന മാലിന്യങ്ങൾ ആഗിരണം ചെയ്യാൻ ഇതിന് കഴിയും. ഇത് ചെലവേറിയ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയത്തിനും ഉൽപാദന നഷ്ടത്തിനും കാരണമാകും. ഇത് തടയാൻ, ഏതെങ്കിലും മാലിന്യങ്ങൾ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടാതിരിക്കാൻ നിർമ്മാതാക്കൾ ഗ്രാനൈറ്റ് ശരിയായി സീൽ ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്.
ഉപസംഹാരമായി, വേഫർ സംസ്കരണ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് ഗ്രാനൈറ്റ് ഒരു മികച്ച വസ്തുവാണ്. എന്നിരുന്നാലും, അതിന്റെ പോരായ്മകളെക്കുറിച്ച് ബോധവാന്മാരായിരിക്കുകയും അവ സംഭവിക്കുന്നത് തടയാൻ ആവശ്യമായ മുൻകരുതലുകൾ എടുക്കുകയും ചെയ്യേണ്ടത് പ്രധാനമാണ്. ശരിയായ പരിചരണവും അറ്റകുറ്റപ്പണിയും ഉണ്ടെങ്കിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ വർഷങ്ങളോളം പ്രവർത്തിക്കുന്നത് തുടരും, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന് ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വേഫറുകൾ നൽകുന്നു.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-27-2023