സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിലെ ഗ്രാനൈറ്റ് ഭാഗങ്ങൾക്കുള്ള ബദൽ വസ്തുക്കൾ ഏതൊക്കെയാണ്? ഗ്രാനൈറ്റിനെ അപേക്ഷിച്ച് ഈ ബദൽ വസ്തുക്കളുടെ ഗുണങ്ങളും ദോഷങ്ങളും എന്തൊക്കെയാണ്?

മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ, താപ സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം എന്നിവ കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു വസ്തുവാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഉയർന്ന കൃത്യതയ്ക്കും ഉൽപ്പാദനക്ഷമതയ്ക്കും വേണ്ടിയുള്ള ആവശ്യകത വർദ്ധിച്ചുവരുന്നതിനാൽ, സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ ഘടകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിന് ബദൽ വസ്തുക്കൾ പ്രായോഗിക ഓപ്ഷനുകളായി ഉയർന്നുവന്നിട്ടുണ്ട്. ഈ ലേഖനത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിലെ ഗ്രാനൈറ്റ് ഭാഗങ്ങൾക്കുള്ള ചില ബദൽ വസ്തുക്കൾ നമ്മൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുകയും അവയുടെ ഗുണങ്ങളും ദോഷങ്ങളും താരതമ്യം ചെയ്യുകയും ചെയ്യും.

ഗ്രാനൈറ്റ് ഭാഗങ്ങൾക്കുള്ള ഇതര വസ്തുക്കൾ

1. ഗ്ലാസ്-സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ

സെറോഡൂർ, സെർവിറ്റ് പോലുള്ള ഗ്ലാസ്-സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ, സിലിക്കണിന് സമാനമായ കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം കാരണം സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. തൽഫലമായി, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ മികച്ച താപ സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെട്ട കൃത്യതയും നൽകാൻ ഈ വസ്തുക്കൾക്ക് കഴിയും. പ്രത്യേകിച്ച്, സെറോഡറിന് ഉയർന്ന അളവിലുള്ള ഏകതാനതയും സ്ഥിരതയും ഉണ്ട്, ഇത് ലിത്തോഗ്രാഫി ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

പ്രയോജനങ്ങൾ:

- താപ വികാസത്തിന്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകം
- ഉയർന്ന കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും
- ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യം

പോരായ്മകൾ:

- ഗ്രാനൈറ്റിനെ അപേക്ഷിച്ച് ഉയർന്ന വില
- താരതമ്യേന പൊട്ടുന്നതിനാൽ, മെഷീനിംഗിലും കൈകാര്യം ചെയ്യലിലും വെല്ലുവിളികൾ സൃഷ്ടിച്ചേക്കാം.

2. സെറാമിക്സ്

അലൂമിനിയം ഓക്സൈഡ് (Al2O3), സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് (Si3N4) തുടങ്ങിയ സെറാമിക് വസ്തുക്കൾക്ക് മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകവുമുണ്ട്. വേഫർ ഘട്ടങ്ങൾ, ചക്കുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും ആവശ്യമുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണ ഭാഗങ്ങൾക്ക് ഈ ഗുണങ്ങൾ സെറാമിക്സിനെ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

പ്രയോജനങ്ങൾ:

- ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരതയും ശക്തിയും
- കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം
- ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും രാസ നിഷ്ക്രിയത്വവും

പോരായ്മകൾ:

- പൊട്ടുന്നതും പൊട്ടാൻ സാധ്യതയുള്ളതും ആകാം, പ്രത്യേകിച്ച് മെഷീനിംഗ്, കൈകാര്യം ചെയ്യൽ സമയത്ത്
- സെറാമിക്സ് മെഷീനിംഗ് ചെയ്യുന്നതും മിനുക്കുന്നതും വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞതും സമയമെടുക്കുന്നതുമാണ്.

3. ലോഹങ്ങൾ

മികച്ച യന്ത്രക്ഷമതയും ഉയർന്ന ശക്തിയും കാരണം ചില അർദ്ധചാലക ഉപകരണ ഭാഗങ്ങൾക്കായി സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ, ടൈറ്റാനിയം തുടങ്ങിയ ലോഹ അധിഷ്ഠിത വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ചുവരുന്നു. ചേമ്പർ ഭാഗങ്ങൾ, കപ്ലിങ്ങുകൾ, ഫീഡ്‌ത്രൂകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപ സ്ഥിരത ആവശ്യമില്ലാത്ത ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഇവ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പ്രയോജനങ്ങൾ:

- നല്ല യന്ത്രവൽക്കരണവും വെൽഡബിലിറ്റിയും
- ഉയർന്ന ശക്തിയും ഡക്റ്റിലിറ്റിയും
- ചില ഇതര വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ കുറഞ്ഞ വില

പോരായ്മകൾ:

- ഉയർന്ന താപ വികാസ ഗുണകം
- താപ വികാസ പ്രശ്നങ്ങൾ കാരണം ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമല്ല.
- നാശത്തിനും മലിനീകരണത്തിനും സാധ്യതയുള്ളത്

തീരുമാനം:

ചുരുക്കത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ ഭാഗങ്ങൾക്ക് ഗ്രാനൈറ്റ് ഒരു ജനപ്രിയ തിരഞ്ഞെടുപ്പായിരുന്നു, എന്നാൽ വ്യത്യസ്ത ഗുണങ്ങളും ദോഷങ്ങളുമുള്ള ഇതര വസ്തുക്കൾ ഉയർന്നുവന്നിട്ടുണ്ട്. ഗ്ലാസ്-സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ വളരെ കൃത്യവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്, പക്ഷേ പൊട്ടുന്നവയും ആകാം. സെറാമിക്സ് ശക്തവും മികച്ച താപ സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്, പക്ഷേ പൊട്ടുന്നവയും ആകാം, ഇത് അവയുടെ നിർമ്മാണത്തെ കൂടുതൽ വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞതാക്കുന്നു. ലോഹങ്ങൾ വിലകുറഞ്ഞതും, യന്ത്രവൽക്കരിക്കാവുന്നതും, ഡക്റ്റൈലുമാണ്, പക്ഷേ അവയ്ക്ക് ഉയർന്ന താപ വികാസ ഗുണകവുമുണ്ട്, കൂടാതെ നാശത്തിനും മലിനീകരണത്തിനും വിധേയവുമാണ്. സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾക്കായി വസ്തുക്കൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ, ആപ്ലിക്കേഷന്റെ പ്രത്യേക ആവശ്യകതകൾ പരിഗണിക്കുകയും ചെലവ്, പ്രകടനം, വിശ്വാസ്യത എന്നിവ സന്തുലിതമാക്കുന്ന വസ്തുക്കൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുകയും ചെയ്യേണ്ടത് നിർണായകമാണ്.