സെമികണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യ പുരോഗമിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, ഉയർന്ന കൃത്യതയും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതുമായ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്കുള്ള ആവശ്യം വർദ്ധിച്ചു. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിലെ അവശ്യ ഘടകങ്ങളിൽ ഒന്നാണ് ഗ്രാനൈറ്റ്. മികച്ച സ്ഥിരത, ശക്തി, ഈട് എന്നിവയുൾപ്പെടെ മികച്ച ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങൾ ഉള്ളതിനാൽ ഗ്രാനൈറ്റ് സാധാരണയായി സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അതിനാൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്കുള്ള പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം നിർണായകമാണ്. ഈ ലേഖനത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിനായുള്ള ആവശ്യകതകളും പരിപാലന നടപടികളും നമ്മൾ ചർച്ച ചെയ്യും.
ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിനുള്ള ആവശ്യകതകൾ
1. താപനിലയും ഈർപ്പവും നിയന്ത്രിക്കൽ: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ വ്യത്യസ്ത താപനിലയും ഈർപ്പവും നിലകളോട് വ്യത്യസ്തമായി പ്രതികരിക്കുന്നു. അധിക ഈർപ്പം നാശത്തിന് കാരണമാകും, അതേസമയം കുറഞ്ഞ ഈർപ്പം സ്റ്റാറ്റിക് വൈദ്യുതിക്ക് കാരണമാകും. ജോലി ചെയ്യുന്ന അന്തരീക്ഷത്തിൽ അനുയോജ്യമായ താപനിലയും ഈർപ്പ നിലയും നിലനിർത്തേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.
2. ശുദ്ധവായു: ജോലിസ്ഥലത്ത് പ്രചരിക്കുന്ന വായു മാലിന്യങ്ങളും പൊടിയും ഇല്ലാത്തതായിരിക്കണം, കാരണം അത് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയെ മലിനമാക്കും.
3. സ്ഥിരത: കൃത്യമായ പ്രകടനം കൈവരിക്കുന്നതിന് ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് സ്ഥിരമായ ഒരു പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം ആവശ്യമാണ്. വൈബ്രേഷനോ മറ്റ് ചലനങ്ങളോ ഒഴിവാക്കേണ്ടത് പ്രധാനമാണ്, കാരണം അവ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ സ്ഥിരതയെ ദോഷകരമായി ബാധിക്കും.
4. സുരക്ഷ: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം ഓപ്പറേറ്റർക്ക് സുരക്ഷിതമായിരിക്കണം. ജോലിസ്ഥലത്ത് ഉണ്ടാകുന്ന ഏതെങ്കിലും അപകടങ്ങളോ സംഭവങ്ങളോ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ പരാജയത്തിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, കൂടാതെ ഓപ്പറേറ്റർക്ക് പരിക്കേൽക്കുകയും ചെയ്യും.
ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന പരിസ്ഥിതിക്കുള്ള പരിപാലന നടപടികൾ
1. താപനിലയും ഈർപ്പവും നിയന്ത്രിക്കൽ: ഒപ്റ്റിമൽ താപനിലയും ഈർപ്പവും നിലനിർത്തുന്നതിന്, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് ചുറ്റുമുള്ള പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം സ്ഥിരമായ താപനിലയും ഈർപ്പവും നിലനിർത്തണം.
2. ശുദ്ധവായു: ജോലിസ്ഥലത്ത് പ്രചരിക്കുന്ന വായു മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്നും പൊടിയിൽ നിന്നും മുക്തമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ശരിയായ ഫിൽട്ടറേഷൻ സ്ഥാപിക്കണം.
3. സ്ഥിരത: സുസ്ഥിരമായ ഒരു പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തുന്നതിന്, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ഉറച്ച അടിത്തറയിലായിരിക്കണം, കൂടാതെ പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം വൈബ്രേഷനുകളോ മറ്റ് അസ്വസ്ഥതകളോ ഇല്ലാത്തതായിരിക്കണം.
4. സുരക്ഷ: ഏതെങ്കിലും അപകടങ്ങളോ സംഭവങ്ങളോ തടയുന്നതിന് ജോലിസ്ഥലത്ത് ശരിയായ സുരക്ഷാ നടപടികൾ ഉണ്ടായിരിക്കണം.
തീരുമാനം
ഉപസംഹാരമായി, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ഒപ്റ്റിമൽ പ്രകടനത്തിന് സ്ഥിരതയുള്ളതും വൃത്തിയുള്ളതും സുരക്ഷിതവുമായ ഒരു പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തേണ്ടത് നിർണായകമാണ്. മാലിന്യങ്ങൾ, പൊടി, വൈബ്രേഷനുകൾ, മറ്റ് അസ്വസ്ഥതകൾ എന്നിവയിൽ നിന്ന് മുക്തമായി, പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം ഒപ്റ്റിമൽ താപനിലയിലും ഈർപ്പം നിലയിലും നിലനിർത്തണം. ഓപ്പറേറ്ററുടെ സുരക്ഷ ഉറപ്പാക്കാൻ ശരിയായ സുരക്ഷാ നടപടികൾ സ്വീകരിക്കണം. ഈ പരിപാലന നടപടികൾ പാലിക്കുന്നത് ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾ ഉറപ്പാക്കാൻ സഹായിക്കും.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-05-2023