സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ മാനദണ്ഡങ്ങളും സവിശേഷതകളും എന്തൊക്കെയാണ്?

ഉയർന്ന സ്ഥിരതയും ഈടുതലും കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളുടെ കൃത്യതയും കൃത്യതയും നിലനിർത്തുന്നതിന് അവ ഉത്തരവാദികളാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ഫലപ്രാപ്തിയും വിശ്വാസ്യതയും അവയുടെ രൂപകൽപ്പന, നിർമ്മാണം, ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ സമയത്ത് ഉയർത്തിപ്പിടിക്കുന്ന മാനദണ്ഡങ്ങളെയും സവിശേഷതകളെയും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ പാലിക്കേണ്ട ചില മാനദണ്ഡങ്ങളും സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളും താഴെ പറയുന്നവയാണ്:

1. മെറ്റീരിയൽ സാന്ദ്രത: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളുടെ സാന്ദ്രത ഏകദേശം 2.65 ഗ്രാം/സെ.മീ3 ആയിരിക്കണം. ഇത് പ്രകൃതിദത്ത ഗ്രാനൈറ്റ് വസ്തുക്കളുടെ സാന്ദ്രതയാണ്, ഇത് ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ഗുണങ്ങളിൽ സ്ഥിരതയും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

2. പരന്നത: സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ഏറ്റവും നിർണായകമായ സവിശേഷതകളിൽ ഒന്നാണ് പരന്നത. ഗ്രാനൈറ്റ് പ്രതലത്തിന്റെ പരന്നത 0.001 mm/m2 ൽ താഴെയായിരിക്കണം. ഇത് ഘടകത്തിന്റെ ഉപരിതലം പരന്നതും നിരപ്പുള്ളതുമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്ക് അത്യാവശ്യമാണ്.

3. സർഫസ് ഫിനിഷ്: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ സർഫസ് ഫിനിഷ് ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതായിരിക്കണം, 0.4µm-ൽ താഴെ പ്രതല പരുക്കനായിരിക്കണം. ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിന് കുറഞ്ഞ ഘർഷണ ഗുണകം ഉണ്ടെന്ന് ഇത് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ സുഗമമായ പ്രവർത്തനത്തിന് നിർണായകമാണ്.

4. താപ വികാസ ഗുണകം: അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ വ്യത്യസ്ത താപനിലകളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ രൂപഭേദം കൂടാതെ താപ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളെ നേരിടാൻ കഴിയണം. അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം 2 x 10^-6 /°C-ൽ താഴെയായിരിക്കണം.

5. ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ്: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ പ്രകടനത്തിന് ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ് നിർണായകമാണ്. എല്ലാ നിർണായക അളവുകൾക്കും ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ് ±0.1mm-നുള്ളിൽ ആയിരിക്കണം.

6. കാഠിന്യവും തേയ്മാന പ്രതിരോധവും: സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് കാഠിന്യവും തേയ്മാന പ്രതിരോധവും അത്യാവശ്യമായ സവിശേഷതകളാണ്. ഗ്രാനൈറ്റിന് മോസ് സ്കെയിൽ 6-7 ന്റെ കാഠിന്യം ഉണ്ട്, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ പ്രയോഗങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു.

7. ഇൻസുലേഷൻ പ്രകടനം: സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾക്ക് സെൻസിറ്റീവ് ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങൾക്ക് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാതിരിക്കാൻ മികച്ച ഇൻസുലേഷൻ പ്രകടനം ഉണ്ടായിരിക്കണം. വൈദ്യുത പ്രതിരോധം 10^9 Ω/cm-ൽ കൂടുതലായിരിക്കണം.

8. രാസ പ്രതിരോധം: ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങൾ ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ തുടങ്ങിയ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന സാധാരണ രാസവസ്തുക്കളോട് പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളതായിരിക്കണം.

ഉപസംഹാരമായി, സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാനൈറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെ മാനദണ്ഡങ്ങളും സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളും, ഘടകങ്ങളുടെയും അവ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങളുടെയും ദീർഘായുസ്സും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് നിർണായകമാണ്. ഘടകങ്ങൾ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ, ഡിസൈൻ, നിർമ്മാണം, ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിൽ മുകളിൽ പറഞ്ഞ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങൾ കർശനമായി പാലിക്കണം. ഈ മാനദണ്ഡങ്ങളും സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളും പാലിക്കുന്നതിലൂടെ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് അവരുടെ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രകടനം ഒപ്റ്റിമൽ ആയി തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഉൽപ്പാദനക്ഷമതയും ലാഭക്ഷമതയും വർദ്ധിപ്പിക്കും.