വേഫർ സ്കാനിംഗ് സമയത്ത് ചൂട് കാരണം ഗ്രാനൈറ്റ് മെഷീൻ ബേസ് വികസിക്കുമോ?

ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിലെ പ്രധാന കണ്ണിയായ വേഫർ സ്കാനിംഗിൽ, ഉപകരണങ്ങളുടെ കൃത്യതയാണ് ചിപ്പിന്റെ ഗുണനിലവാരം നിർണ്ണയിക്കുന്നത്. ഉപകരണങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകമെന്ന നിലയിൽ, ഗ്രാനൈറ്റ് മെഷീൻ അടിത്തറയുടെ താപ വികാസ പ്രശ്നം വളരെയധികം ശ്രദ്ധ ആകർഷിച്ചു.

ഗ്രാനൈറ്റിന്റെ താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം സാധാരണയായി 4 നും 8 × 10⁻⁶/℃ നും ഇടയിലാണ്, ഇത് ലോഹങ്ങളെയും മാർബിളിനെയും അപേക്ഷിച്ച് വളരെ കുറവാണ്. ഇതിനർത്ഥം താപനില മാറുമ്പോൾ അതിന്റെ വലുപ്പം താരതമ്യേന വളരെ കുറച്ച് മാത്രമേ മാറുന്നുള്ളൂ എന്നാണ്. എന്നിരുന്നാലും, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം എന്നാൽ താപ വികാസം ഇല്ലെന്ന് അർത്ഥമാക്കുന്നില്ല എന്നത് ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതാണ്. തീവ്രമായ താപനില വ്യതിയാനങ്ങളിൽ, ചെറിയ വികാസം പോലും വേഫർ സ്കാനിംഗിന്റെ നാനോസ്കെയിൽ കൃത്യതയെ ബാധിച്ചേക്കാം.

വേഫർ സ്കാനിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, താപ വികാസം സംഭവിക്കുന്നതിന് ഒന്നിലധികം കാരണങ്ങളുണ്ട്. വർക്ക്ഷോപ്പിലെ താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ, ഉപകരണ ഘടകങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനം മൂലമുണ്ടാകുന്ന താപം, ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് വഴി തൽക്ഷണം ഉണ്ടാകുന്ന ഉയർന്ന താപനില എന്നിവയെല്ലാം ഗ്രാനൈറ്റ് അടിത്തറയെ "താപനില മാറ്റങ്ങൾ കാരണം വികസിക്കാനും ചുരുങ്ങാനും" കാരണമാകും. ബേസ് താപ വികാസത്തിന് വിധേയമായിക്കഴിഞ്ഞാൽ, ഗൈഡ് റെയിലിന്റെ നേരായതും പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ പരന്നതും വ്യതിചലിച്ചേക്കാം, ഇത് വേഫർ ടേബിളിന്റെ കൃത്യതയില്ലാത്ത ചലന പാതയിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം. പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളും മാറും, ഇത് സ്കാനിംഗ് ബീം "വ്യതിചലിക്കാൻ" കാരണമാകുന്നു. ദീർഘനേരം തുടർച്ചയായി പ്രവർത്തിക്കുന്നത് പിശകുകൾ ശേഖരിക്കുകയും കൃത്യത കൂടുതൽ വഷളാക്കുകയും ചെയ്യും.

പക്ഷേ വിഷമിക്കേണ്ട. ആളുകൾക്ക് ഇതിനകം തന്നെ പരിഹാരങ്ങളുണ്ട്. വസ്തുക്കളുടെ കാര്യത്തിൽ, കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം ഉള്ള ഗ്രാനൈറ്റ് സിരകൾ തിരഞ്ഞെടുത്ത് വാർദ്ധക്യ ചികിത്സയ്ക്ക് വിധേയമാക്കും. താപനില നിയന്ത്രണത്തിന്റെ കാര്യത്തിൽ, വർക്ക്ഷോപ്പ് താപനില 23±0.5℃ അല്ലെങ്കിൽ അതിലും താഴെയായി കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ അടിത്തറയ്ക്കായി ഒരു സജീവ താപ വിസർജ്ജന ഉപകരണവും രൂപകൽപ്പന ചെയ്യും. ഘടനാപരമായ രൂപകൽപ്പനയുടെ കാര്യത്തിൽ, സമമിതി ഘടനകളും വഴക്കമുള്ള പിന്തുണകളും സ്വീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ താപനില സെൻസറുകൾ വഴി തത്സമയ നിരീക്ഷണം നടത്തുന്നു. താപ രൂപഭേദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന പിശകുകൾ അൽഗോരിതങ്ങൾ വഴി ചലനാത്മകമായി ശരിയാക്കുന്നു.

ASML ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ പോലുള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ, ഈ രീതികളിലൂടെ, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസിന്റെ താപ വികാസ പ്രഭാവം വളരെ ചെറിയ പരിധിക്കുള്ളിൽ നിലനിർത്തുന്നു, ഇത് വേഫർ സ്കാനിംഗ് കൃത്യത നാനോമീറ്റർ ലെവലിൽ എത്താൻ സഹായിക്കുന്നു. അതിനാൽ, അത് ശരിയായി നിയന്ത്രിക്കുന്നിടത്തോളം, ഗ്രാനൈറ്റ് ബേസ് വേഫർ സ്കാനിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വിശ്വസനീയമായ ഒരു തിരഞ്ഞെടുപ്പായി തുടരും.