♦അലുമിന(അൽ2O3)
ZhongHui ഇൻ്റലിജൻ്റ് മാനുഫാക്ചറിംഗ് ഗ്രൂപ്പ് (ZHHIMG) നിർമ്മിക്കുന്ന കൃത്യമായ സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി സെറാമിക് അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ, 92~97% അലുമിന, 99.5% അലുമിന, >99.9% അലുമിന, CIP കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിക്കാം.ഉയർന്ന താപനില സിൻ്ററിംഗും പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗും, ± 0.001mm ൻ്റെ ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യത, Ra0.1 വരെ മിനുസമുള്ളത്, 1600 ഡിഗ്രി വരെ താപനില ഉപയോഗിക്കുക.ഉപഭോക്താക്കളുടെ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് വ്യത്യസ്ത നിറങ്ങളിലുള്ള സെറാമിക്സ് നിർമ്മിക്കാം, അതായത്: കറുപ്പ്, വെള്ള, ബീജ്, കടും ചുവപ്പ്, മുതലായവ ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ്, വാക്വം, നശിപ്പിക്കുന്ന വാതക അന്തരീക്ഷം എന്നിവയിൽ വളരെക്കാലം ഉപയോഗിക്കുന്നു.
വിവിധ അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു: ഫ്രെയിമുകൾ (സെറാമിക് ബ്രാക്കറ്റ്), സബ്സ്ട്രേറ്റ് (ബേസ്), ആം / ബ്രിഡ്ജ് (മാനിപ്പുലേറ്റർ), , മെക്കാനിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, സെറാമിക് എയർ ബെയറിംഗ്.
ഉത്പന്നത്തിന്റെ പേര് | ഉയർന്ന ശുദ്ധി 99 അലുമിന സെറാമിക് സ്ക്വയർ ട്യൂബ് / പൈപ്പ് / വടി | |||||
സൂചിക | യൂണിറ്റ് | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
സാന്ദ്രത | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
വെള്ളം ആഗിരണം | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
സിൻ്റർ ചെയ്ത താപനില | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
കാഠിന്യം | മൊഹ്സ് | 7 | 9 | 9 | 9 | |
വളയുന്ന ശക്തി (20℃)) | എംപിഎ | 200 | 300 | 340 | 360 | |
കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
ദീർഘകാല പ്രവർത്തന താപനില | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
പരമാവധി.പ്രവർത്തന താപനില | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
വോളിയം റെസിസ്റ്റിവിറ്റി | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക്സിൻ്റെ പ്രയോഗം:
1. അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളിൽ പ്രയോഗിക്കുന്നു: സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്, കട്ടിംഗ് ഡിസ്ക്, ക്ലീനിംഗ് ഡിസ്ക്, സെറാമിക് ചക്ക്.
2. വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ ഭാഗങ്ങൾ: വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്ന ചക്കുകൾ, വേഫർ കട്ടിംഗ് ഡിസ്കുകൾ, വേഫർ ക്ലീനിംഗ് ഡിസ്കുകൾ, വേഫർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇൻസ്പെക്ഷൻ സക്ഷൻ കപ്പുകൾ.
3. LED / LCD ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ വ്യവസായം: സെറാമിക് നോസൽ, സെറാമിക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഡിസ്ക്, ലിഫ്റ്റ് പിൻ, പിൻ റെയിൽ.
4. ഒപ്റ്റിക്കൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ, സോളാർ വ്യവസായം: സെറാമിക് ട്യൂബുകൾ, സെറാമിക് വടികൾ, സർക്യൂട്ട് ബോർഡ് സ്ക്രീൻ പ്രിൻ്റിംഗ് സെറാമിക് സ്ക്രാപ്പറുകൾ.
5. ചൂട് പ്രതിരോധം, വൈദ്യുത ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഭാഗങ്ങൾ: സെറാമിക് ബെയറിംഗുകൾ.
നിലവിൽ, അലൂമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക്സ് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, സാധാരണ സെറാമിക്സ് എന്നിങ്ങനെ തിരിക്കാം.ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക്സ് സീരീസ് 99.9% Al₂O₃-ൽ കൂടുതൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന സെറാമിക് മെറ്റീരിയലിനെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.1650 - 1990 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ സിൻ്ററിംഗ് താപനിലയും 1 ~ 6μm ട്രാൻസ്മിഷൻ തരംഗദൈർഘ്യവും ഉള്ളതിനാൽ, ഇത് സാധാരണയായി പ്ലാറ്റിനം ക്രൂസിബിളിന് പകരം ഫ്യൂസ്ഡ് ഗ്ലാസായി പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു: ഇത് പ്രകാശ പ്രക്ഷേപണവും നാശ പ്രതിരോധവും കാരണം സോഡിയം ട്യൂബായി ഉപയോഗിക്കാം. ക്ഷാര ലോഹം.ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ, ഐസി സബ്സ്ട്രേറ്റുകളുടെ ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിലുള്ള ഇൻസുലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലായി ഇത് ഉപയോഗിക്കാം.അലൂമിനിയം ഓക്സൈഡിൻ്റെ വ്യത്യസ്ത ഉള്ളടക്കങ്ങൾ അനുസരിച്ച്, സാധാരണ അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക് സീരീസ് 99 സെറാമിക്സ്, 95 സെറാമിക്സ്, 90 സെറാമിക്സ്, 85 സെറാമിക്സ് എന്നിങ്ങനെ തിരിക്കാം.ചിലപ്പോൾ, അലുമിനിയം ഓക്സൈഡിൻ്റെ 80% അല്ലെങ്കിൽ 75% ഉള്ള സെറാമിക്സ് സാധാരണ അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക് സീരീസ് ആയി തരംതിരിച്ചിട്ടുണ്ട്.അവയിൽ, 99 അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക് മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ക്രൂസിബിൾ, ഫയർപ്രൂഫിംഗ് ഫർണസ് ട്യൂബ്, സെറാമിക് ബെയറിംഗുകൾ, സെറാമിക് സീലുകൾ, വാൽവ് പ്ലേറ്റുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള പ്രത്യേക വസ്ത്രങ്ങൾ പ്രതിരോധിക്കുന്ന വസ്തുക്കളും നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.95 അലുമിനിയം സെറാമിക്സ് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത് നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന വസ്ത്രങ്ങൾ പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഭാഗമാണ്.85 സെറാമിക്സ് പലപ്പോഴും ചില ഗുണങ്ങളിൽ മിക്സഡ് ആണ്, അതുവഴി വൈദ്യുത പ്രകടനവും മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.ഇതിന് മോളിബ്ഡിനം, നിയോബിയം, ടാൻ്റലം, മറ്റ് ലോഹ മുദ്രകൾ എന്നിവ ഉപയോഗിക്കാം, ചിലത് ഇലക്ട്രിക് വാക്വം ഉപകരണങ്ങളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഗുണമേന്മയുള്ള ഇനം (പ്രതിനിധി മൂല്യം) | ഉത്പന്നത്തിന്റെ പേര് | എഇഎസ്-12 | എഇഎസ്-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | എഇഎസ്-23 | AL-31-03 | |
കെമിക്കൽ കോമ്പോസിഷൻ കുറഞ്ഞ സോഡിയം ഈസി സിൻ്ററിംഗ് ഉൽപ്പന്നം | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
പൊട്ടിച്ചിരിക്കുക | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
അൽ₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
മീഡിയം കണികാ വ്യാസം (MT-3300, ലേസർ വിശകലന രീതി) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α ക്രിസ്റ്റൽ വലിപ്പം | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
രൂപപ്പെടുന്ന സാന്ദ്രത** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
സിൻ്ററിംഗ് സാന്ദ്രത** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
സിൻ്ററിംഗ് ലൈനിൻ്റെ ചുരുങ്ങൽ നിരക്ക്** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* Al₂O₃ ൻ്റെ പരിശുദ്ധിയുടെ കണക്കുകൂട്ടലിൽ MgO ഉൾപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ല.
* സ്കെയിലിംഗ് പൗഡർ ഇല്ല 29.4MPa (300kg/cm²), സിൻ്ററിംഗ് താപനില 1600°C ആണ്.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO ചേർക്കുക, സിൻ്ററബിലിറ്റി മികച്ചതാണ്, അതിനാൽ ഇത് 99% ൽ കൂടുതൽ പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് സെറാമിക്സിന് ബാധകമാണ്.
AES-22S: ഉയർന്ന രൂപീകരണ സാന്ദ്രതയും സിൻ്ററിംഗ് ലൈനിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ചുരുങ്ങൽ നിരക്കും സവിശേഷതയാണ്, ഇത് സ്ലിപ്പ് ഫോം കാസ്റ്റിംഗിനും ആവശ്യമായ ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യതയുള്ള മറ്റ് വലിയ തോതിലുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾക്കും ബാധകമാണ്.
AES-23 / AES-31-03: ഇതിന് ഉയർന്ന രൂപീകരണ സാന്ദ്രതയും തിക്സോട്രോപ്പിയും AES-22S നേക്കാൾ കുറഞ്ഞ വിസ്കോസിറ്റിയും ഉണ്ട്.ആദ്യത്തേത് സെറാമിക്സിലാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്, രണ്ടാമത്തേത് ഫയർപ്രൂഫിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് വാട്ടർ റിഡ്യൂസറായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് ജനപ്രീതി നേടുന്നു.
♦സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സവിശേഷതകൾ
പൊതു സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ | പ്രധാന ഘടകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി (wt%) | 97 | |
നിറം | കറുപ്പ് | ||
സാന്ദ്രത (g/cm³) | 3.1 | ||
വെള്ളം ആഗിരണം (%) | 0 | ||
മെക്കാനിക്കൽ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ | വഴക്കമുള്ള ശക്തി (MPa) | 400 | |
യംഗ് മോഡുലസ് (GPa) | 400 | ||
വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം (GPa) | 20 | ||
താപ സവിശേഷതകൾ | പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില (°C) | 1600 | |
താപ വികാസ ഗുണകം | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
താപ ചാലകത (W/m x K) | 130 110 | ||
തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രതിരോധം ΔT (°C) | 300 | ||
ഇലക്ട്രിക്കൽ സവിശേഷതകൾ | വോളിയം പ്രതിരോധശേഷി | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
വൈദ്യുത സ്ഥിരാങ്കം | 10GHz | - | |
വൈദ്യുത നഷ്ടം (x 10-4) | - | ||
ക്യു ഫാക്ടർ (x 104) | - | ||
വൈദ്യുത തകർച്ച വോൾട്ടേജ് (KV/mm) | - |
♦സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് സെറാമിക്
മെറ്റീരിയൽ | യൂണിറ്റ് | Si₃N₄ |
സിൻ്ററിംഗ് രീതി | - | ഗ്യാസ് പ്രഷർ സിൻ്റർ ചെയ്തു |
സാന്ദ്രത | g/cm³ | 3.22 |
നിറം | - | ഇരുണ്ട ചാരനിറം |
ജല ആഗിരണം നിരക്ക് | % | 0 |
യുവ മോഡുലസ് | ജിപിഎ | 290 |
വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | ജിപിഎ | 18 - 20 |
കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി | എംപിഎ | 2200 |
വളയുന്ന ശക്തി | എംപിഎ | 650 |
താപ ചാലകത | W/mK | 25 |
തെർമൽ ഷോക്ക് റെസിസ്റ്റൻസ് | Δ (°C) | 450 - 650 |
പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | °C | 1200 |
വോളിയം റെസിസ്റ്റിവിറ്റി | Ω·സെ.മീ | > 10 ^ 14 |
വൈദ്യുത സ്ഥിരത | - | 8.2 |
വൈദ്യുത ശക്തി | kV/mm | 16 |